Графитен фиксатор с SiC покритие за ASM

Обща информация за продукта

Продуктови бизнес условия

✔ Приложение: Покритият с Veteksemicon SiC графитен субстрат е ключов консуматив за епитаксиалното оборудване от серията ASM. Той директно поддържа пластината и осигурява равномерно и стабилно топлинно поле по време на високотемпературна епитаксия, което го прави основен компонент за осигуряване на висококачествен растеж на усъвършенствани полупроводникови материали като GaN и SiC.

✔ Услуги, които могат да бъдат предоставени: анализ на сценария на клиентското приложение, подходящи материали, решаване на технически проблеми. 

✔ Фирмен профил：Veteksemicon разполага с 2 лаборатории, екип от експерти с 20 години материален опит, с R&D и възможности за производство, тестване и проверка.

Технически параметри

Моят съперник SiC покритие от графит за предимства на ядрото на ASM

1. Изключителна чистота и нисък процент на дефекти

Използвайки специален графитен субстрат с висока чистота и фини частици, съчетан с нашия строго контролиран процес на нанасяне на покритие с химическо отлагане на пари (CVD), ние гарантираме, че покритието е плътно, без дупки и без примеси. Това значително намалява риска от замърсяване с частици по време на епитаксиалния процес, осигурявайки чиста субстратна среда за растеж на висококачествени епитаксиални слоеве.

2. Отлична устойчивост на корозия и устойчивост на износване

Покритието от пиролитичен силициев карбид притежава изключително висока твърдост и химическа инертност, като ефективно се съпротивлява на ерозията на източници на силиций (като SiH4, SiHCl3), източници на въглерод (като C3H8) и ецващи газове (като HCl, H2) при високи температури. Това значително удължава цикъла на поддръжка на базата и намалява времето за престой на машината, причинено от подмяна на компоненти.

3. Отлична топлинна равномерност и стабилност

Оптимизирахме разпределението на термичното поле в диапазона на работната температура чрез прецизен дизайн на структурата на субстрата и контрол на дебелината на покритието. Това директно се превръща в отлична дебелина и еднородност на съпротивлението в епитаксиалната пластина, допринасяйки за подобрен добив при производството на чипове.

4. Отлична адхезия на покритието

Уникалната предварителна обработка на повърхността и технологията за градиентно покритие позволяват на покритието от силициев карбид да образува силен свързващ слой с графитния субстрат, ефективно предотвратявайки проблемите с отлепване, лющене или напукване на покритието, които могат да възникнат по време на дълготраен термичен цикъл.

5. Точен размер и структурна репликация

Притежаваме зрели CNC машини и възможности за тестване, което ни позволява напълно да възпроизведем сложната геометрия, размерите на кухината и монтажните интерфейси на оригиналната основа, като гарантираме перфектно съвпадение и plug-and-play функционалност с платформата на клиента.

6. Одобрение за проверка на екологичната верига

Моят съперник SiC покрит графитен приемник за проверка на екологичната верига на ASM обхваща суровините до производството, преминал е международен стандарт за сертифициране и има редица патентовани технологии, за да гарантира неговата надеждност и устойчивост в полупроводниковите и новите енергийни полета.

За подробни технически спецификации, бели документи или примерни условия за тестване, моля, свържете се с нашия екип за техническа поддръжка, за да проучите как Veteksemicon може да подобри ефективността на вашия процес.

Основни области на приложение

Магазин за продукти Моят съперник