Силициев карбиден вафла патронник

Vetek Semiconductor Silicon Carbide Vafer Chuck използва отличните свойства на силициевите карбидни материали, за да отговори на строгите изисквания за производството на полупроводници, особено при обработката на полупроводници, която изисква изключително висока точност и надеждност.

В процеса на обработка на полупроводници,Силициев карбидИма отлична висока температурна устойчивост (може да работи стабилно при 1400 ° C), ниската проводимост (SIC има сравнително ниска проводимост, обикновено 10^^-3S/m) и нисък коефициент на термично разширение (около 4.0 × 10^^-6/° C), който е незаменим и важен материал, особено подходящ за производството на силициев карбиден вафла патронник.

По време наЕпитаксиален процес на растеж, тънък слой полупроводник се отлага върху субстрат, като се изисква абсолютна стабилност от вафлата, за да се осигури еднакви и висококачествени слоеве от отлагане на филми. SIC Vacuum Chuck постига това, като създава твърд, постоянен вакуум, за да се предотврати всяко движение или деформация на вафлата.

Силиконовата карбидна вафла Chuck също предлага отлична устойчивост на термичен шок. Бързите температурни промени са често срещани при производството на полупроводници и материалите, които не могат да издържат на тези колебания, могат да се напукат, огъват или да се провалят. Силиконов карбид има нисък коефициент на термично разширение и може да поддържа формата и функцията си дори при драстични температурни промени, като гарантира, че вафлата остава сигурна по време на процеса на епитаксия без движение или несъответствие.

Освен това,Процес на епитаксиячесто включва реактивни газове и други корозивни химикали. Химическата инертност на SIC вафлата Чък гарантира, че тя не е повлияна от тези тежки среди, поддържайки нейната работа и разширявайки експлоатационния си живот. Тази химическа издръжливост не само намалява честотата на подмяната на вафли с патрон, но също така осигурява постоянна работа на продукта през множество производствени цикли, като спомага за подобряване на общата ефективност и ефективността на разходите на процеса на производство на полупроводници.

Vetek Semiconductor е водещ производител и доставчик на продукти от силиконов карбид патронник в Китай. Можем да предоставим различни видове продукти на патронник катоПореста sic керамична патронника, Пореста sic вакуум патронник, Пореста керамична вакуум патронникиTac покрит патрон. Искрено се надяваме да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

SEM данни на CVDКристална структура на Sic Film：

Vetek полупроводник силициев карбид вафли Chuck Shops：