Силиконов карбид керамично покритие графитен нагревател

Полупроводник Силиконов карбид керамично покритие графитен нагревателКомбинира отличната електрическа и топлинна проводимост на графита с висока температурна устойчивост, устойчивост на корозия и устойчивост на износване на силициево въглеродно керамично покритие и е проектирана за сурова среда за производство на полупроводници. 

Силиконов карбид керамично покритие графитен нагревателсе използва главно във вакуумно покритие (изпаряване), а методите, които обикновено се използват, са PCD (плазмено химическо изсушаване) и PVD (физическо отлагане на пари). Този продукт изигра важна роля за насърчаване на технологичния прогрес и подобряването на ефективността на производството в полупроводниковата индустрия.Искрено очакваме с нетърпение да сътрудничим с вас.

Материалът и структурните характеристики на графитния нагревател на силициев карбид са както следва:

Графитен субстрат: Графитът е известен с високата си топлопроводимост и ниския коефициент на термично разширяване. Той може да реагира бързо на температурните промени и да поддържа структурната стабилност при високи температури.

Силициево въглеродно керамично покритие: SIC покритието е равномерно покрито върху графитната повърхност чрез химическо отлагане на пари или други напреднали процеси. SIC има изключително висока твърдост и химическа устойчивост на корозия, което може да предпази графитния субстрат от окисляване на високотемператури и корозивна среда.

Специалният продукт структурен дизайн на графитен нагревател на силициев карбидНезаключителните предимства на продукта на този продукт в процеса на обработка на полупроводници:

Ефективно и равномерно отопление:

Топлинна проводимост: Високата топлопроводимост на графита позволява нагревателя бързо да достигне и поддържа необходимата температура, а SIC покритието гарантира равномерно разпределение на топлина. Това е особено важно за полупроводниковите процеси, които изискват прецизен контрол на температурата, като бърза термична обработка (RTP) и химическо отлагане на пари (CVD).

Температурна равномерност: Чрез равномерно разпределение на топлина, графитен нагревател на силициев карбид може ефективно да намали топлинния стрес и градиента на температурата, като гарантира консистенцията и качествената стабилност на полупроводниковите вафли през целия процес на отопление.

Антикорозионна защита:

Химическа устойчивост: Химическата устойчивост на корозия на SIC покритие дава възможност на нагревателя да работи стабилно и дълго време в корозивна газ и химическа среда, като избягва увреждане на графитния субстрат. Тази характеристика е особено критична при процеси като отлагане на химически пари (CVD) и отлагане на химическо изпаряване на плазмените химически пари (PECVD).

Окислително устойчивост: При високи температури, SIC покритието може да предотврати окисляването на графитния субстрат, да удължи експлоатационния живот на нагревателя и да намали честотата и разходите за поддръжка на оборудването.

Намаляване на замърсяването на частиците:

Повърхностна стабилност: SIC покритието е не само устойчиво на износване, но също така предотвратява падането на частиците от повърхността на материала поради термично колоездене или химични реакции, като по този начин намалява риска от замърсяване на частиците, който може да възникне по време на производството на полупроводници и гарантиране на високопоставена среда на процеса.

Подобряване на надеждността и ефективността на процеса:

Дизайн на дълъг живот: Поради комбинацията от механичната якост на графита и устойчивостта на износване на SIC покритие, графитният нагревател на силициев карбид може да поддържа работа с високоефективна работа при тежки условия на процеса, като значително подобрява общата надеждност на оборудването.

Ефективно използване на енергията: Високата топлинна проводимост на графита и високотемпературната стабилност на SIC покритието дават възможност на нагревателя да намали консумацията на енергия, като същевременно подобрява точността на контрол на температурата, като по този начин подобрява общата ефективност на производството на полупроводници.

Основни физически свойства наСиликонов карбид керамично покритие графитен нагревател:

ПолупроводникСиликонов карбид керамично покритие графитен нагревателмагазини:

Преглед на индустриалната верига на епитаксията на полупроводниковите чипове:

/Друг процес