Керамично покритие от силициев карбид

Полупроводник Керамично покритие от силициев карбиде високоефективно защитно покритие, изработено от изключително твърд и устойчив на износване материал от силициев карбид (SIC), който осигурява отлична химическа устойчивост на корозия и висока температурна стабилност. Тези свойства са от решаващо значение при производството на полупроводници, така че керамичното покритие на силициев карбид се използва широко върху ключови компоненти на производственото оборудване за полупроводници.

Специфичната роля, изиграна от полупроводниковия керамично покритие на Vetek в полупроводник в производството на полупроводници, екакто следва:

Подобрете издръжливостта на оборудването: Керамичното покритие на силициев карбид осигурява отлична повърхностна защита за оборудване за производство на полупроводници с изключително високата си твърдост и устойчивост на износване. Особено при високотемпературни, силно корозивни процесорни среди, като отлагане на химическо изпаряване (CVD) и плазмено ецване, керамично покритие от силициев карбид могат ефективно да предотвратят увреждане на повърхността на оборудването поради химическа ерозия или физическо износване, като по този начин значително удължават живота на обслужването на оборудването и намаляване на престоя, причинено от честото подмяна и поддръжка.

Подобряване на чистотата на процеса: В процеса на производство на полупроводници всяко мъничко замърсяване може да причини дефекти на продукта. Химическата инертност на керамичното покритие на силициев карбид позволява да остане стабилна при екстремни условия, да се предотврати отделянето на частици или примеси на материала и да гарантира чистотата на околната среда по време на процеса. Това е особено важно за производствените стъпки, които изискват висока точност и висока чистота, като PECVD и йонна имплантация.

Оптимизиране на термичното управление: При високотемпературна обработка на полупроводници, като бърза термична обработка (RTP) и процеси на окисляване, високата топлинна проводимост на керамичното покритие на силициев карбид позволява равномерно разпределение на температурата вътре в оборудването. Това спомага за намаляване на топлинния стрес и деформацията на материала, причинени от температурните колебания, като по този начин се подобрява точността и консистенцията на производството на продукта.

Подкрепена сложна обработвателна среда: В процесите, които изискват сложен контрол на атмосферата, като ецване на ICP и процеси на ецване на PSS, стабилността и устойчивостта на окисляване на нагревателния нагревател на силициев карбид гарантират стабилните характеристики на оборудването при дългосрочна работа, намалявайки риска от разграждане на материала или повреда на оборудването поради промени в околната среда.

ПолупроводникФокусира се върху производството и доставката на високоефективна ефективностКерамично покритие от силициев карбиди се ангажира с предоставянето на усъвършенствани технологии и решения за продукти за полупроводниковата индустрия.Искрено се надяваме да бъдем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Основни физически свойства наКерамично покритие от силициев карбид:

Vetek полупроводникови силициеви карбидни керамични магазини за покритие:

Преглед на индустриалната верига на епитаксията на полупроводниковите чипове: