Селиконов карбид керамичен нагревател

ПолупроводникКерамично покритие на силициев карбид е нагревател, предназначен за висока температура и сурова среда. Той покрива слой от силициево въглеродно керамично покритие (SIC) върху повърхността на нагревателния елемент, за да даде на оборудването отлична топлинна устойчивост, устойчивост на корозия и топлопроводимост. 

Селиконов карбид керамичен нагревателсе използва главно във вакуумно покритие (изпаряване). Често използваните методи са PCD (плазмено химическо изсушаване) и PVD (физическо отлагане на пари), които се използват широко при производството на полупроводници и други индустриални приложения с високо търсене.

В комбинация с високоефективния дизайн на покритие от силициев карбид, нагревател за керамично покритие,Той може да осигури отлично отоплително решение за високотемпературни процеси.

Отлична топлопроводимост: SIC материалът има отлична топлопроводимост, като гарантира, че нагревателят може да постигне равномерно разпределение на топлина в работната зона и да намали градиентите на температурата.

Осигурете равномерно разпределение на топлина: Нагревател за керамично покритие от силициев карбид използва високата топлинна проводимост на SIC материал, за да постигне равномерно разпределение на температурата в цялата зона на отопление. Това е от решаващо значение за осигуряване на равномерно обработка на топлината на полупроводникови вафли в различни високотемпературни процеси като бърза термична обработка (RTP), дифузия и окисляване, като се избягват дефектите на продукта, причинени от локално прегряване или неравномерна температура.

Висока температурна толерантност: SIC покритието дава възможност на нагревателя да издържа на изключително високи температури, обикновено до 1600 ° C, подходящ за различни процеси на обработка с висока температура.

Подобряване на топлинната устойчивост: Тъй като покритието може да издържи изключително високи температури, то се представя добре в процеси, които изискват дългосрочна работа с висока температура. Например, при процесите на химическо отлагане на пари (CVD), нагревател за керамично покритие на силициев карбид може да осигури дългосрочна стабилна работа на оборудването при високи температури и да поддържа постоянни характеристики на отопление, като по този начин подобрява повторяемостта и надеждността на процеса.

Химическа устойчивост на корозия: SIC покритието има изключително висока устойчивост на киселина, алкални и корозивни газове и може да остане стабилно за дълго време в сложна химическа атмосферна среда, удължавайки живота на оборудването. 

Разширяване на живота на оборудването: SIC покритието има отлична устойчивост на окисляване и устойчивост на корозия и може ефективно да устои на химическата ерозия и окисляване при високи температури. Това е много критично в процеса на производство на полупроводници, особено в среда, която обработва корозивни газове и химикали. Защитният ефект на покритието може значително да удължи живота на обслужването на нагревателя и да намали честотата на разходите за подмяна и поддръжка на оборудването.

Основни физически свойства на нагревателя за силициев карбид:

Vetek полупроводникови силициев карбид керамично покритие на нагреватели:

Преглед на индустриалната верига на Epitaxy на Vetek Semiconductor Chip: