Отдолу на колекционера на Colector

Vetek Semiconductor е производител, ангажиран с осигуряване на високо качествоCVD TAC покритиеи CVD SIC покритие на Collector Collector и работят в тясно сътрудничество с Aixtron Equipment, за да отговорят на нуждите на нашите клиенти. Независимо дали в оптимизацията на процесите или разработването на нови продукти, ние сме готови да ви предоставим техническа поддръжка и да отговорим на всички въпроси, които може да имате.

Функция на основната продукта

Гаранция за стабилност на процеса

Контрол на градиента на температурата: ±1.5℃/cm@1200℃

Оптимизация на полето на потока: Дизайнът на специалния канал прави равномерността на разпределението на газта до 92,6%

Механизъм за защита на оборудването

Двойна защита:

Буфер за термичен удар: Издържайте на 10 ℃/s бърза промяна на температурата

Прихващане на частици: улавяне> 0,3 μm частици от утайка

В областта на авангардната технология

Цял контрол на качеството на процеса

Система за проследяване на производството

Източник на суровини: Tokai/Toyo Graphite от Япония, SGL Graphite от Германия

Дигитален мониторинг на близнаци: Всеки компонент е съпоставен с независима база данни за параметри на процеса

Сценарий на кандидатстване:

Производство на полупроводници от трето поколение

Сценарий: 6-инчов SIC епитаксиален растеж (контрол на дебелината 100-150 μm)

Съвместим модел: Aixtron G5 WW/Crius II

Чрез използването на покритие от Aixtron SIC Collector Collector, Collector Center и Collector с SIC покритие, термично управление и химическа защита в производствените процеси на полупроводникови, може да се оптимизира, и качеството и консистенцията на филма могат да бъдат подобрени. Комбинацията от тези компоненти в оборудването на Aixtron осигурява стабилни условия на процеса и ефективно производство на полупроводници.

SEM данни за CVD SIC филм