PECVD Графитна лодка

Veteksemicon е професионален производител и доставчик на графитни лодки PECVD.

Каква е ролята на соларната клетка (покритие) PECVD графитна лодка на Vetek?

Като носител на нормални силициеви вафли, произведени от процеса на покритие, графитната лодка има много вафли на лодка с определени интервали в конструкцията и има много тясно пространство между двете съседни вафли на лодка, а силиконовите вафли се поставят от двете страни на празната врата.

Тъй като графитният материал на PECVD графит графит има добри свойства на електрическа и термична проводимост, напрежението на променлив ток се изисква в двете съседни лодки, така че двете съседни лодки образуват положителни и отрицателни стълбове, когато има определено налягане и газ в камерата, светещи изхвърляния се появяват между двете лодки, светещи изпускания могат да се разпаднат в SIH4 и NH3 газ в пространството, формиращи Si и N ions. SINX молекулите се образуват и се отлагат върху повърхността на силициевата вафла, за да се постигне целта на покритието.

Графитните лодки PECVD обикновено се използват като носители за пренасяне на силициеви вафли или други материали, за да се осигури безопасно управление и транспортиране на тези материали във висока температура и плазмена среда. Например, в процеса на производство на полупроводници, графитните лодки на PECVD на Veteksemicon са предназначени за плазмени подобрени процеси на отлагане на химически пари. Графитната лодка играе ролята на отлагане на силиконов нитрид (SINₓ) пасивационни слоеве и филми с ниска диелектрична константа (ниско-К).

Във фотоволтаичното поле PECVD графитните лодки се използват за приготвяне на слънчеви клетки на силиконова основа на силиций (като аморфни силициеви A-Si: H) и PERC клетъчни пасивационни слоеве. PECVD графитната лодка на Veteksemicon оптимизира процеса на покритие, като ефективно раздава силиконови вафли и предизвиква сияние, за да се постигне равномерно отлагане на покритието.

По -важното е, че Veteksemicon може да предостави персонализирани продукти и технически услуги и може да проектира и произвежда продукти на графитни лодки с различни спецификации според вашите действителни изисквания на процеса. Искрено се радваме да станем ваш дългосрочен партньор.

И Предимствата на PECVD графитната лодка в сравнение с обикновената графитна лодка, просто щракнете