Алуминиев керамичен вакуум патронник

Alumina Ceramic Vacuum Chuck е държач за вафли за епитаксиални процеси при обработка на полупроводници. Това е ключов инструмент за стабилизиране на вафли и осигуряване на равномерен растеж на епитаксиални слоеве. Той се използва широко в епитаксиално оборудване катоMocvdиLpcvd.

Vetek Semiconductor Alumina Ceramic Vacuum Chuck играе жизненоважна роля в етапите на изтъняване и смилане на вафли на полупроводниково производство. Тези етапи включват точно намаляване на дебелината насубстрат на вафлиЗа подобряване на разсейването на топлината на чипа, което е от съществено значение за подобряване на ефективността и живота на полупроводниковите устройства.

Съвместим с множество размери на вафли: Vetek Semiconductor Alumina Ceramic Vacuum Chuck е проектиран да поддържа широк спектър от размери на вафли, включително 2, 3, 4, 5, 6, 8 и 12 инча. Тази адаптивност го прави подходящ за различни полупроводникови производствени среди, като гарантира постоянни и надеждни показатели в различни размери на вафли.

Превъзходен материал на материала: Основата на алуминиевия керамичен вакуум патрон е изработена от ултра-PURE 99,9999% алуминиев оксид (AL₂O₃), която предлага отлична устойчивост на химическа атака и термична стабилност. Повърхността на патронник е направена от порестасилициев карбид (sic). Порестият керамичен материал има плътна и равномерна структура, която подобрява неговата издръжливост и производителност.

Предимства наПореста керамична технология：

Чистота и издръжливост на материала: Изработен от 99,99% чист алуминиев оксид, нашият алуминиев керамичен вакуум патрон се съпротивлява на химическата атака и предлага отлична термична стабилност, което го прави идеален за изключително взискателни производствени среди.

Оптимална порьозност и пропускливост на въздуха: Равномерно разпределените микропори осигуряват отлична пропускливост на въздуха и равномерна сила на адсорбция, което води до гладка и последователна работа.

Засилена плоскост и паралелизъм: Микропорестите алуминиеви керамични вакуумни патрони имат отлична плоскост и паралелизъм, гарантирайки прецизно обработка на вафли и стабилност.

Персонализирани възможности за обслужване: Veteksemi може да осигури разнообразие от персонализирани форми, включително кръгли, квадратни, пръстени и други дизайни, с дебелина от 3 мм до 10 мм. Това персонализиране гарантира, че нашите алуминиеви керамични вакуумни патрони отговарят на специфичните нужди на различни процеси на производство на полупроводници и определено са вашият идеален избор.

Vetek Semiconductor се ангажира да предоставя усъвършенствани технологии и решения за продукти за полупроводниковата индустрия и искрено се надяваме да бъдем ваш дългосрочен партньор в Китай.

TheХимическа формула наАлуминиева керамика：

ПолупроводникАлуминиеви керамични вакуумни магазини: