Вакуум патронник

Приложение: 

Високоефективна вакуумна патронника, изработена за прецизната адсорбция и твърдата фиксация на вафли и блокове. Добре е - подходящо за ситуации, включително производство на полупроводници, рязане на вафли, прецизна обработка, висока температурна епитаксия, офорт и йонна имплантация.

Основни параметри:

● Регулируема порьозност (варираща от 10 - 200 μm).
● Способни да издържат на ултра - високи температури (до ≤1600 ° C) и да показват отлична устойчивост на термичен удар.
● Адсорбционен вакуум: Стандартът е - 90kPa (адаптивен за достигане на 100kPa).

● Размери на смукателната чаша: Може да поддържа 4/6/8/12 - инчови вафли, а размерът на слината може да бъде пригоден според специфичните нужди.

Ⅰ. Описание

Veteksemicon Ceramic Vacuum Chuck използва комбинирана структура от пореста керамика и метален външен пръстен. Чрез персонализирания дизайн на въздушни канали и пори той осъзнава равномерното разпределение на адсорбционната сила и високата стабилност. Този патронник е подходящ за производство на полупроводници, рязане на вафли, прецизна обработка и др. Той може да работи при високи температурни и високи настройки на движението и отговаря на изискванията за съвместимост на вафли/блокове в различни размери.

Ⅱ. Основна структура и предимства на материалите

Многослойно композитно оформление:

✔ повърхностен слой: Изработена от пореста керамика (можете да избирате между пореста силициев карбид или пореста графит). Диаметърът на порите може да се регулира (10 - 200 μm), което гарантира, че адсорбционната сила се прехвърля равномерно на повърхността на вафлата, като по този начин се предотвратява натрупването на локален стрес.

✔ Матрица: Съставена от силно твърда метална рамка (или неръждаема стомана, или алуминиева сплав), за да предложи структурна опора и херметичност.

✔ Дихателни пътища и пори: Прецизно обработените вътрешни дихателни пътища образуват мрежа, заедно с равномерно разположени микропори. Тази настройка поддържа бързо извличане на вакуум (адсорбционната сила може да достигне до - 90kPa) и незабавно освобождаване.

Ⅲ . Сравнение на МАТериални характеристики

1. Сравнение на свойствата на материала

2. Сценарии и случаи на кандидатстване

✔ Полупроводник Fabricatio

Епитаксиален растеж: Той може да адсорбира SIC вафли при високи температури, предотвратявайки изкривяването на вафлите и да се замърси.

Литография и офорт: Тя позволява прецизно позициониране на движещи се платформи с висока скорост (ускорение ≤10g), като гарантира точността на графичното подравняване.

✔ Обработка на сливане

Рязане и смилане: Тя може да адсорбира тежки блокове (като сапфир и силиций - карбидни блокове), намалявайки напукване на ръба поради вибрации.

✔ Научни изследвания и специални технологии

Високо - отгряване на температурата: Порести силициев - карбидни засмукателни чаши могат да работят непрекъснато при 1600 ° С без деформация или замърсяване на вентилация.

Вакуумно покритие: С дизайн на високо въздух - тя може да се адаптира към PVD/CVD кухината.

3. Персонализирано обслужване

✔ Предлагаме персонализиране за размер и натоварване.

✔ Стомасите и дихателните пътища могат да бъдат оптимизирани така, че да отговарят на специфични изисквания.

✔ Може да се адаптира към специалните среди.

Ⅳ. Често задавани въпроси:

Как вакуумните патрони постигат съвместимост с многоразмерни вафли (например 12/8/6 ")?

Въпрос: Как един Чък се вписва в 12-инчов, 8-инчов и 6-инчова вафла едновременно? Необходимо ли е физическото преструктуриране?

A:Многоизмерна съвместимост чрез адаптивни дихателни пътища и стомашно разделяне:

✔ Динамично стомашно управление: Стомасите на повърхността на смукача се разпределят в зона на пръстена, а въздушната верига в различни зони се контролира от външен клапан.

Например, когато се абсорбират 8-инчова вафла, са активирани само порите в централната зона и външните пори са затворени (за да се избегне изтичането на адсорбционната сила).

✔ Гъвкав дизайн на дихателните пътища: Портната мрежа има модулно оформление, което съответства на ръбовите профили на вафли с различни размери, за да се осигури равномерно покритие на силата на адсорбция. и Предимствата са както следва:

Нулева хардуерна подмяна: Не е необходимо да премахвате или заменяте смукателната чаша, чрез софтуер или превключвател на газовия клапан може да бъде адаптиран към различни размери.

Спестявания на разходите: Намалете разходите за обновяване на оборудването и престой и увеличаване на гъвкавостта на производствената линия.