Оксидационна и дифузионна пещ

Оксидационните и дифузионните пещи се използват в различни области като полупроводникови устройства, дискретни устройства, оптоелектронни устройства, силови електронни устройства, слънчеви клетки и широкомащабно производство на интегрални схеми. Те се използват за процеси, включително дифузия, окисляване, отгряване, легиране и синтероване на пластини.

VeTek Semiconductor е водещ производител, специализиран в производството на графит с висока чистота, силициев карбид и кварцови компоненти в окислителни и дифузионни пещи. Ние се ангажираме да предоставяме висококачествени компоненти за пещи за полупроводниковата и фотоволтаичната промишленост и сме в челните редици на технологиите за повърхностни покрития, като CVD-SiC, CVD-TaC, пирокарбон и др.

Предимствата на компонентите от силициев карбид VeTek Semiconductor:

Устойчивост на висока температура (до 1600 ℃)

Отлична топлопроводимост и термична стабилност

Добра устойчивост на химическа корозия

Нисък коефициент на топлинно разширение

Висока якост и твърдост

Дълъг експлоатационен живот

В окислителните и дифузионни пещи, поради наличието на високотемпературни и корозивни газове, много компоненти изискват използването на високотемпературни и устойчиви на корозия материали, сред които силициевият карбид (SiC) е често използван избор. Следните са обичайните компоненти от силициев карбид, намиращи се в окислителните пещи и дифузионните пещи:

Вафлена лодка

Лодката за пластини от силициев карбид е контейнер, използван за пренасяне на пластини от силиций, които могат да издържат на високи температури и няма да реагират със силициевите пластини.

Пещна тръба

Тръбата на пещта е основният компонент на дифузионната пещ, използвана за поставяне на силициеви пластини и контрол на реакционната среда. Тръбите на пещите от силициев карбид имат отлична устойчивост на висока температура и корозия.

Преградна плоча

Използва се за регулиране на въздушния поток и разпределението на температурата вътре в пещта

Защитна тръба за термодвойка

Използва се за защита на термодвойки за измерване на температура от директен контакт с корозивни газове.

Конзолно гребло

Конзолните лопатки от силициев карбид са устойчиви на висока температура и корозия и се използват за транспортиране на силициеви лодки или кварцови лодки, носещи силициеви пластини в тръбите на дифузионната пещ.

Газов инжектор

Използван за въвеждане на реакционен газ в пещта, той трябва да е устойчив на висока температура и корозия.

Превозвач на лодка

Носачът за вафли от силициев карбид се използва за фиксиране и поддържане на силициеви вафли, които имат предимства като висока якост, устойчивост на корозия и добра структурна стабилност.

Врата на пещта

Покрития или компоненти от силициев карбид също могат да се използват от вътрешната страна на вратата на пещта.

Нагревателен елемент

Нагревателните елементи от силициев карбид са подходящи за високи температури, висока мощност и могат бързо да повишат температурите до над 1000 ℃.

SiC облицовка

Използва се за защита на вътрешната стена на тръбите на пещта, може да помогне за намаляване на загубата на топлинна енергия и да издържи на сурови среди като висока температура и високо налягане.