Окисляване и дифузионна пещ

Окислителните и дифузионните пещи се използват в различни области като полупроводникови устройства, дискретни устройства, оптоелектронни устройства, електронни устройства за захранване, слънчеви клетки и мащабно интегрирано производство на вериги. Те се използват за процеси, включително дифузия, окисляване, отгряване, легиране и синтероване на вафли.

Vetek Semiconductor е водещ производител, специализиран в производството на графит с висока чистота, силициев карбид и кварцови компоненти в пещи за окисляване и дифузия. Ние се ангажираме да предоставяме висококачествени компоненти на пещта за полупроводниковата и фотоволтаичната индустрия и сме начело на технологията на повърхностното покритие, като CVD-SIC, CVD-TAC, пирокарбон и т.н.

Предимствата на компонентите на силициевия карбид Vetek:

● Високотемпературна съпротивление (до 1600 ℃)

● Отлична топлопроводимост и термична стабилност

● Добра химическа устойчивост на корозия

● Нисък коефициент на термично разширение

● Висока якост и твърдост

● Дълъг експлоатационен живот

В пещите с окисляване и дифузия, поради наличието на висока температура и корозивни газове, много компоненти изискват използването на високотемпературни и устойчиви на корозия материали, сред които силициев карбид (SIC) е често използван избор. По -долу са често срещани компоненти на силициев карбид, открити в пещи за окисляване и дифузионни пещи:

● лодка с вафли

Силиконовата карбидна вафрова лодка е контейнер, използван за пренасяне на силициеви вафли, които могат да издържат на високи температури и няма да реагират със силиконови вафли.

● Пещ тръба

Тръбата на пещта е основният компонент на дифузионната пещ, използван за настаняване на силиконови вафли и контрол на реакционната среда. Тръбите за пещ на силициев карбид имат отлична характеристика и устойчивост на корозия.

● Плоча на прегради

Използва се за регулиране на въздушния поток и разпределението на температурата вътре в пещта

● Защита на термодвойката

Използва се за защита на температурата, измерване на термодвойките от директен контакт с корозивни газове.

● Конзолно гребло

Силиконовите карбидни конзолни гребла са устойчиви на висока температура и корозия и се използват за транспортиране на силициеви лодки или кварцови лодки, пренасящи силиконови вафли в тръбите на дифузионни пещи.

● газов инжектор

Използва се за въвеждане на реакционен газ в пещта, той трябва да бъде устойчив на висока температура и корозия.

● превозвач на лодка

Носителят на лодките на силициевите карбиди се използва за фиксиране и поддържане на силиконови вафли, които имат предимства като висока якост, устойчивост на корозия и добра структурна стабилност.

● Вратата на пещта

От вътрешната страна на вратата на пещта може да се използват и силициев карбид покрития или компоненти.

● Отоплителен елемент

Елементите за отопление на силициев карбид са подходящи за високи температури, висока мощност и могат бързо да повишат температурите до над 1000 ℃.

● SIC лайнер

Използва се за защита на вътрешната стена на пещните тръби, може да помогне за намаляване на загубата на топлинна енергия и издържа на сурови среди като висока температура и високо налягане.

View as

Керамична вафлена лодка от силициев карбид

Vetek Semiconductor е специализиран в предоставянето на висококачествени лодки за вафли, пиедестали и персонализирани носещи вафли във вертикални/колони и хоризонтални конфигурации, за да отговарят на различни изисквания за полупроводникови процеси. Като водещ производител и доставчик на филми за покритие от силициев карбид, нашата керамична вафлена лодка на силициев карбид е предпочитана от европейските и американските пазари за тяхната висока ефективност и отлично качество и се използват широко в напредналите процеси за производство на полупроводници. Vetek Semiconductor се ангажира да установи дългосрочни и стабилни взаимоотношения с глобални клиенти и особено се надява да станете вашият надежден партньор за полупроводникови процеси в Китай.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Силиконов карбид (SIC) Конзолна гребла

Ролята на конзолната лопатка от силициев карбид (SiC) в полупроводниковата индустрия е да поддържа и транспортира пластини. При високотемпературни процеси като дифузия и окисление, SiC конзолната лопатка може стабилно да носи вафлени лодки и вафли без деформация или повреда поради висока температура, осигурявайки гладкото протичане на процеса. Уеднаквяването на дифузията, окисляването и други процеси е от решаващо значение за подобряване на консистенцията и добива от обработката на вафли. VeTek Semiconductor използва усъвършенствана технология за изграждане на SiC конзолна пластина със силициев карбид с висока чистота, за да гарантира, че пластините няма да бъдат замърсени. VeTek Semiconductor очаква с нетърпение дългосрочно сътрудничество с вас за конзолни продукти от силициев карбид (SiC).

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Кварцов тигел

Vetek Semiconductor е водещ кварцов тигел доставчик и производител в Китай. Кварцовите тигели, които произвеждаме, се използват главно в полупроводниковите и фотоволтаичните полета. Те имат свойствата на чистотата и устойчивостта на висока температура. И нашият кварцов тигел за полупроводниково поддържат производствените процеси на дърпане, натоварване и разтоварване на силициеви пръчки в суровините на полисиликон в процеса на производство на силициеви вафли на полупроводникови силициеви вафли и са ключови консумативи за производството на силиконови вафли. Vetek Semiconductor очаква с нетърпение да стане ваш дългосрочен партньор в Китай.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Носител на пластини от силициев карбид

Като професионален доставчик на превозвачи на вафли със силициев карбид в Китай, полупроводниковият носител на Vetek Sic Wafs е инструмент, специално използван за обработка и обработка на полупроводници, който играе незаменима роля в процеса на полупроводникови вафли. Добре дошли във вашата допълнителна консултация.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Силиконов пиедестал

Vetek Semiconductor Silicon Pedestal е ключов компонент в процесите на дифузия и окисляване на полупроводници. Като специална платформа за носене на силиконови лодки във високотемпературни пещи, силиконовият пиедестал има много уникални предимства, включително подобрена равномерност на температурата, оптимизирано качество на вафли и подобрена работа на полупроводниковите устройства. За повече информация за продукта, моля не се колебайте да се свържете с нас.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

SIC керамичен уплътнителен пръстен

Като мащабна фабрика и доставчик на продукти от керамичен печат на SIC в Китай, полупроводникът на Vetek Sic Ceramic Seal има широк спектър от приложения в индустриалното поле поради отличната си топлопроводимост, изключителна химическа и корозионна устойчивост и висока якост и твърдост. Добре дошли вашите допълнителни запитвания.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Като професионалист Окисляване и дифузионна пещ производител и доставчик в Китай, ние имаме собствена фабрика. Независимо дали се нуждаете от персонализирани услуги, за да отговорите на специфичните нужди на вашия регион или искате да закупите модерни и издръжливи Окисляване и дифузионна пещ, направени в Китай, можете да ни оставите съобщение.

QR код

За нас

Продукти

Свържете се с нас

Телефон
+86-18069220752
факс
+86-579-87223657
Електронна поща
anny@veteksemi.com
Адрес
Wangda Road, улица Зиян, окръг Вуи, град Джинхуа, провинция Жеджианг, Китай

Уеб меню

Търсене на продукти

език

Изход от менюто

Окисляване и дифузионна пещ

Предимствата на компонентите на силициевия карбид Vetek:

Керамична вафлена лодка от силициев карбид

Силиконов карбид (SIC) Конзолна гребла

Кварцов тигел

Носител на пластини от силициев карбид

Силиконов пиедестал

SIC керамичен уплътнителен пръстен

Изпратете запитване

QR код

За нас

Продукти

Свържете се с нас

Телефон

факс

Електронна поща

Адрес