Керамична вафлена лодка от силициев карбид

Предимствата на използването на керамична вафлена лодка от силициев карбид Veteksemi

● Много висока температурна устойчивост на 3000 F (1650 ℃）

● Супер корозионна устойчивост на киселини, разтворители, соли и органични вещества, устойчиви на износване  

● Лесно за почистване

● Силна устойчивост на въздействие

● Блъх се

Производствената индустрия на VeTek Semiconductor обикновено обработва тези пластини или в хоризонтален носител за пластини, или във вертикални носители.

●  Хоризонталният носач, обикновено наричан "лодка", има три или четири хоризонтално разположени бара, подредени в дизайн на полукръг, като всеки бар има вътрешно насочени канали, поставени в него на редовни интервали. Всеки набор от канали определя вертикално пространство за носене на вертикално изхвърлена вафла.

● Вертикалният носител, обикновено наричан "вертикална стойка", има три или четири вертикално разположени пръта (или стълбове), подредени в полукръг, като всеки стълб има слотове, поставени в него на равни интервали, за да се определи пространство за поддържане на хоризонтално разположена пластина.

За да се осигури необходимата геометрична точност в тази област, трите или четирите пръта са фиксирани към горна плоча и долна плоча. Частите на стълба между всеки слот, наречени "зъби", са еднакво разположени, за да поддържат вафли на редовни интервали от и успоредно на долната плоча. След това цялата стойка се поставя във вертикална пещ за обработка на вафлите.

Тъй като вафла, обработена на вертикален багажник, изпитва по -малко температурен градиент над лицето му (в сравнение с вафла, обработена в хоризонтална лодка), производителите на полупроводници все повече се обръщат към вертикални пещи. Има обаче недостатък на вертикалната обзавеждане. Вафлите, разположени на конвенционален вертикален багажник, се поддържат само на външния им ръб. Като такива, областите на вафлата, опираща се на тези зъби, изпитват по -голям стрес от останалата част от вафлата.

Когато температурите в пещта надвишават около 1000°C, тези напрежения често стават значителни и части от монокристалната пластина се движат една спрямо друга по кристалографски плочи в отговор на това напрежение. Това явление, наречено "приплъзване", ефективно унищожава стойността на полупроводниковите устройства, разположени в зоната на пластината, където е настъпило приплъзване.

Като водещ доставчик на лодки и производител на керамични вафли на силиконов карбид в Китай, полупроводник Vetek винаги е бил ангажиран да предоставя усъвършенствани технологии и решения за продукти с лодки за полупроводници. Искрено се радваме да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

VeTek SemiconductorСиликонови карбид керамични вафли за производство на лодка за производство на лодки: