Уеб меню

Търсене на продукти

език

Продукти

Окисляване и дифузионна пещ

Окислителните и дифузионните пещи се използват в различни области като полупроводникови устройства, дискретни устройства, оптоелектронни устройства, електронни устройства за захранване, слънчеви клетки и мащабно интегрирано производство на вериги. Те се използват за процеси, включително дифузия, окисляване, отгряване, легиране и синтероване на вафли.


Vetek Semiconductor е водещ производител, специализиран в производството на графит с висока чистота, силициев карбид и кварцови компоненти в пещи за окисляване и дифузия. Ние се ангажираме да предоставяме висококачествени компоненти на пещта за полупроводниковата и фотоволтаичната индустрия и сме начело на технологията на повърхностното покритие, като CVD-SIC, CVD-TAC, пирокарбон и т.н.


Предимствата на компонентите на силициевия карбид Vetek:

● Високотемпературна съпротивление (до 1600 ℃)

● Отлична топлопроводимост и термична стабилност

● Добра химическа устойчивост на корозия

● Нисък коефициент на термично разширение

● Висока якост и твърдост

● Дълъг експлоатационен живот


В пещите с окисляване и дифузия, поради наличието на висока температура и корозивни газове, много компоненти изискват използването на високотемпературни и устойчиви на корозия материали, сред които силициев карбид (SIC) е често използван избор. По -долу са често срещани компоненти на силициев карбид, открити в пещи за окисляване и дифузионни пещи:



● лодка с вафли

Силиконовата карбидна вафрова лодка е контейнер, използван за пренасяне на силициеви вафли, които могат да издържат на високи температури и няма да реагират със силиконови вафли.


● Пещ тръба

Тръбата на пещта е основният компонент на дифузионната пещ, използван за настаняване на силиконови вафли и контрол на реакционната среда. Тръбите за пещ на силициев карбид имат отлична характеристика и устойчивост на корозия.


● Плоча на прегради

Използва се за регулиране на въздушния поток и разпределението на температурата вътре в пещта


● Защита на термодвойката

Използва се за защита на температурата, измерване на термодвойките от директен контакт с корозивни газове.


● Конзолно гребло

Силиконовите карбидни конзолни гребла са устойчиви на висока температура и корозия и се използват за транспортиране на силициеви лодки или кварцови лодки, пренасящи силиконови вафли в тръбите на дифузионни пещи.


● газов инжектор

Използва се за въвеждане на реакционен газ в пещта, той трябва да бъде устойчив на висока температура и корозия.


● превозвач на лодка

Носителят на лодките на силициевите карбиди се използва за фиксиране и поддържане на силиконови вафли, които имат предимства като висока якост, устойчивост на корозия и добра структурна стабилност.


● Вратата на пещта

От вътрешната страна на вратата на пещта може да се използват и силициев карбид покрития или компоненти.


● Отоплителен елемент

Елементите за отопление на силициев карбид са подходящи за високи температури, висока мощност и могат бързо да повишат температурите до над 1000 ℃.


● SIC лайнер

Използва се за защита на вътрешната стена на пещните тръби, може да помогне за намаляване на загубата на топлинна енергия и издържа на сурови среди като висока температура и високо налягане.

View as  
 
SiC вафлена лодка

SiC вафлена лодка

Лодката за вафли от SiC се използва за пренасяне на вафлата, главно за процеса на окисление и дифузия, за да се гарантира, че температурата може да бъде равномерно разпределена върху повърхността на вафлата. Високата температурна стабилност и високата топлопроводимост на SiC материалите осигуряват ефективна и надеждна обработка на полупроводници. Vetek semiconductor се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени.
Виж повече >> Изпратете запитване >>
SiC технологична тръба

SiC технологична тръба

Vetek Semiconductor осигурява високоефективни тръби на SIC за производство на полупроводници. Нашите тръби на SIC процеси се отличават в окисляване, дифузионни процеси. С превъзходно качество и изработка тези тръби предлагат стабилност с висока температура и топлинна проводимост за ефективна обработка на полупроводници. Ние предлагаме конкурентни цени и се стремим да бъдем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Виж повече >> Изпратете запитване >>
SIC конзолна гребло

SIC конзолна гребло

SiC Contilever Paddle на VeTek Semiconductor се използва в пещи за термична обработка за манипулиране и поддържане на вафлени лодки. Високата температурна стабилност и високата топлопроводимост на SiC материала осигуряват висока ефективност и надеждност в процеса на обработка на полупроводници. Ние се ангажираме да предоставяме висококачествени продукти на конкурентни цени и с нетърпение очакваме да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Виж повече >> Изпратете запитване >>
Вафлена лодка от силициев карбид за хоризонтална пещ

Вафлена лодка от силициев карбид за хоризонтална пещ

SiC пластинчатата лодка има високи изисквания към чистотата на материала. Vetek Semiconductor доставя SiC чистота >99,96% прекристализиран SiC за този продукт. VeTek Semiconductor е професионален производител и доставчик в Китай на силициева карбидна пластинова лодка за хоризонтална пещ, с дългогодишен опит в R&D и производство, може да контролира качеството добре и да предложи конкурентна цена. Можете да бъдете спокойни, че ще закупите лодката за пластини от силициев карбид за хоризонтална пещ от нас.
Виж повече >> Изпратете запитване >>
SIC покритие със силиконов карбид вафли лодка

SIC покритие със силиконов карбид вафли лодка

SIC покритие от силициев карбид вафлена лодка е проектирана с 165 слота за носене на вафли. цена. Добре дошли за посещение на нашата фабрика и по -нататъшно обсъждане на сътрудничеството.
Виж повече >> Изпратете запитване >>
Силиконов карбид конзолна гребло

Силиконов карбид конзолна гребло

Силициев карбиден гребло на Vetek Semiconductor е важен компонент в процеса на производство на полупроводници, особено подходящ за дифузионни пещи или LPCVD пещи във високотемпературни процеси като дифузия и RTP. Нашата конзолна гребло на силициев карбид е внимателно проектирано и произведено с отлична устойчивост на високотемператури и механична якост и може безопасно и надеждно да транспортира вафли до процесорната тръба при тежки условия на процеса за различни високотемпературни процеси като дифузия и RTP. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай. Разбирайте се да ни попитаме.
Виж повече >> Изпратете запитване >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.


Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.


Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.


For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.


Като професионалист Окисляване и дифузионна пещ производител и доставчик в Китай, ние имаме собствена фабрика. Независимо дали се нуждаете от персонализирани услуги, за да отговорите на специфичните нужди на вашия регион или искате да закупите модерни и издръжливи Окисляване и дифузионна пещ, направени в Китай, можете да ни оставите съобщение.
Препоръки за новини
Топ 3 -те кварцови доставчици на материали в света
Топ 3 -те кварцови доставчици на материали в светаВиж повече >>
Колко знаете за Sapphire?
Колко знаете за Sapphire?Виж повече >>
Пълно обяснение на процеса на производство на чипове (1/2): от вафла до опаковане и тестване
Пълно обяснение на процеса на производство на чипове (1/2): от вафла до опаковане и тестванеВиж повече >>
Какви материали се използват в полупроводникови керамични компоненти?
Какви материали се използват в полупроводникови керамични компоненти?Виж повече >>
Интелигентна технология за рязане на кубични силициеви карбидни вафли
Интелигентна технология за рязане на кубични силициеви карбидни вафлиВиж повече >>
Порести силициев карбид (SIC) керамични плочи: високоефективни материали в производството на полупроводници
Порести силициев карбид (SIC) керамични плочи: високоефективни материали в производството на полупроводнициВиж повече >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept