Силициев карбид робот ръка

Роботичната ръка на силициевия карбид на Veteksemicon е решение за обработка на полупроводници от висок клас, създадено специално за сурова индустриална среда. Използвайки усъвършенствана технология за силиконов карбид с висока чистота, тя демонстрира изключителна стабилност и издръжливост при високи температури, корозивна среда и ултра-високи вакуумни условия. Като ключов компонент в процесите на обработка на вафли, офорт и отлагане, нашата роботизирана ръка значително подобрява производителността и намалява разходите за поддръжка.

Ⅰ. Технически параметри

Ⅱ. Veteksemicon Silicon Carbide Robot Arm Основни предимства

1. Екстремна толерантност към околната среда

Нашата рамо на робота използва уникално формулирано SIC покритие, което претърпява множество процеси на отлагане с висока температура, което му позволява да поддържа структурна цялост при продължителни температури от 1500 ° C и ефективно да се противопоставя на корозията от плазмената бомбардировка и силната киселина и алкалната среда. Това фундаментално се занимава с точките на болка на традиционните материали, които са склонни към стареене и имат кратък живот при екстремни условия на труд.

2. Отлични механични свойства

Приемайки композитна структура на графитен субстрат и SIC покритие, ние постигнахме твърдост, далеч надвишаваща тази на металните материали, като същевременно гарантираме, че ръката е изключително лека. Този дизайн гарантира, че деформацията на рамото на робота е изключително малка по време на високоскоростно възвръщащо се движение, като ефективно потиска трептене, като по този начин здраво контролира точността на повторно позициониране в рамките на ± 0,02 мм, като гарантира безопасното предаване на прецизни вафли.

3. Ултра-висока чистота

Ние разбираме, че замърсяването на частици е убиец номер едно на добива. Следователно, всяка рамо на робота претърпява прецизно полиране и специализирана повърхностна обработка, което води до повърхностна грапавост RA под 0,1 μm. Покритието се прилепва сигурно, предотвратявайки някакъв риск от пилинг. Нашите продукти са 100% тествани за чистота, като напълно отговарят на ултра-високи изисквания за чиста стая и са готови за използване в най-съвременните производствени линии.

4. Дълъг експлоатационен живот

Благодарение на присъщата твърдост на SIC от 3000 HV и отлична устойчивост на износване, нашето оръжие на робота изпитва минимално влошаване на производителността дори след десетки хиляди цикли на движение. Техният експлоатационен живот е няколко пъти по-голям от обикновените компоненти на керамичните или алуминиевите сплави, като значително намалява престоя на времето за подмяна и поддръжка, осигурявайки значителна обща ефективност на разходите за нашите клиенти.

Ⅲ. Основни полета за приложение

Veteksemicon Silicon Carbide Robot Arm „Екологична верига проверка обхваща суровините в производството, преминаха международно стандартно сертифициране и разполага с редица патентовани технологии, за да гарантира неговата надеждност и устойчивост в полупроводниковите и новите енергийни полета. Добре дошли да се консултирате с нас по всяко време.