Продукти
Графитен пръстен с пиролитично въглеродно (PyC) покритие
  • Графитен пръстен с пиролитично въглеродно (PyC) покритиеГрафитен пръстен с пиролитично въглеродно (PyC) покритие

Графитен пръстен с пиролитично въглеродно (PyC) покритие

В настройките за растеж на кристали SiC PVT, графитните части работят при много високи температури за дълги периоди. Графитният пръстен с PyC покритие на VeTek е създаден за този вид мито. Пиролитичен въглероден слой се отлага върху графит с висока чистота чрез CVD. Това дава на частта по-добра повърхностна стабилност и по-малко частици, отделящи се по време на работа. Обикновено го поставяте в областта на термичното поле, за да управлявате потока на парите и как топлината се разпространява вътре в пещта. Покритието също така забавя сублимацията на графит, когато температурата надхвърли 2200°C, което прави целия компонент издръжлив по-дълго.

1. Характеристики на продукта

Плътно PyC покритие без пори: образува равномерен, стегнат слой, който намалява пропускливостта на газ и замърсяването с частици по време на растежа на кристалите.
Понася добре високи температури: остава структурно здрав във вакуум или инертен газ над 2200°C.
● Много висока чистота: изработена от пречистен графитплюс CVD с висока чистота, така че нивата на примеси остават изключително ниски.
Добра устойчивост на термичен удар: ниското топлинно разширение означава, че е необходимо бързо нагряване и охлаждане без напукване.
По-добра устойчивост на корозия: предпазва графитния субстрат от химическа атака и сублимация при висока температураувреждане.
По-дълъг експлоатационен живот: издържа много по-дълго от графитните пръстени без покритие, така че не е необходимо да обслужвате пещта толкова често.

Ефект на пиролитично въглеродно покритие под 500X микроскоп, с непокътната и запечатана повърхност.


2. Технически спецификации
Елемент
единица
Типична стойност
Кристална структура

Шестоъгълна
Подравняване

Ориентирани или неориентирани по посока 001
Обемна плътност
g/cm³
~2,26
Микроструктура

Поликристален / многослоен графен
Твърдост
GPa
1.4
Модул на еластичност
GPa
11
Типична дебелина на покритието
μm
20–110
Грапавост на повърхността
μm
1.5
Чистота на продукта
ppm
≤5 ppm


3. Приложения

Графитният пръстен с PyC покритие се използва широко в:

● SiC монокристални пещи за растеж (PVT метод)
● Системи с термично поле за трето поколение полупроводници
● Високотемпературни изолационни структури за растеж на кристали
● Системи за насочване на парния поток
● Компоненти на високотемпературна вакуумна пещ Полупроводникови системи за управление на топлината


4. VeTek възможност за производство на полупроводници

VeTek Semiconductor се фокусира върху усъвършенствани материали за покритие и grафитни термични полеви части за SiC и други полупроводникови приложения. Ето какво правим:

● Пречистване на графит с висока чистота
● Прецизна CNC обработка
● Усъвършенствано CVD PyC покритие
● Производство на едрогабаритни компоненти за термично поле
● Персонализирани решения за термично поле
● Строг контрол на качеството на полупроводници Ние също така изработваме персонализирани графитни части с PyC покритие въз основа на вашите чертежи или конфигурации на пещ.




Горещи маркери: Графитен пръстен с пиролитично въглеродно покритие, графитен пръстен с покритие от PyC, пръстен за растеж на кристали от SiC, графитен пръстен от PVT пещ, компонент на полупроводниковото термично поле, графитен пръстен с висока чистота, CVD PyC покритие, SiC монокристални части за растеж, графитен пръстен за направляване на потока, високотемпературен графитен компонент
Изпратете запитване
Информация за контакт
  • Адрес

    Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, Китай

  • Електронна поща

    anny@veteksemi.com

За запитвания относно покритие от силициев карбид, покритие от танталов карбид, специален графит или ценова листа, моля, оставете своя имейл до нас и ние ще се свържем в рамките на 24 часа.
X
Ние използваме бисквитки, за да ви предложим по-добро сърфиране, да анализираме трафика на сайта и да персонализираме съдържанието. Използвайки този сайт, вие се съгласявате с използването на бисквитки от наша страна.Политика за поверителност
ОтхвърлянеПриеми