TAC покритие с графитен пръстен

Графитният пръстен с покритие от TAC (TANTALUM) е критичен компонент, използван при производството на полупроводници, по -специално в процеси като епитаксиално отлагане и плазмено офорт. Тези пръстени са предназначени да държат и позиционират силициеви вафли, като гарантират прецизно подравняване и стабилност по време на високотемпературна и сурова химическа среда. Нашият водач е проектиран да отговори на строгите изисквания на съвременното производство на полупроводници, като спомага за подобряване на добивите на процеса и качеството на вафли.

Състав на материала и физически свойства

Ядрото на нашия схема с графитен пръстен, покрит с TAC, е графитен пръстен с висока чистота, който след това се покрива със слой от танталум карбид (TAC).

Графитен субстрат:

Графитът осигурява няколко ключови предимства. Той има отлична термична стабилност, устойчива на деформация при високите температури, често срещани при обработката на полупроводници. Леката му природа свежда до минимум топлинната маса, което позволява бързо отопление и охлаждащи цикли. Графитът с висока чистота също предотвратява замърсяването на процесната камера.

CVD TAC покритие:

Карбидното покритие на Tantalum е ключът към превъзходните характеристики на пръстена. TAC е изключително твърд керамичен материал, предлагащ изключителна устойчивост на износване и химическа инертност. Той защитава основния графит от агресивна плазма и корозивни газове, като значително удължава живота на пръстена. Това покритие също предотвратява проливането на частиците, което е от решаващо значение за поддържане на чиста процесна среда и предотвратяване на дефекти върху повърхността на вафлите.

Ролята на пътеводител в обработката на вафли

Нашият пътеводител, покрит с TAC, играе жизненоважна роля за осигуряване на качеството и ефективността на производството на полупроводници.

● Подравняване и стабилност на вафлите: По време на епитаксиален растеж или офорт, водещият пръстен държи вафлата в прецизно положение. Това предотвратява изместването на вафлата, което е от съществено значение за равномерното отлагане на слоя и точния трансфер на шаблони през цялата повърхност на вафли.

● Термично управление: Топлинните свойства на покритието с графит и танталум позволяват ефективно разпределение и управление на топлина. Това е от решаващо значение за поддържането на равномерен температурен профил през вафлата, който е необходим за постоянна дебелина на филма и свойствата на материала.

● Контрол на замърсяването: Материалите с висока чистота и трайното покритие на TAC минимизират генерирането на частици и изпреварването. Това намалява риска от замърсяване на вафли и дефекти, което води до по -висок добив и надеждност на устройството.

● Разширен живот на компонента: Здравото покритие от карбид Tantalum осигурява отлична устойчивост на плазмена ерозия и химическа атака. Това разширява оперативния живот на водещия пръстен, намалявайки престоя на поддръжката и намалява общите разходи за собственост.