Покритие от танталов карбид

VeTek semiconductor е водещ производител на материали за покритие от танталов карбид за полупроводниковата индустрия. Нашите основни продуктови предложения включват части с покритие от танталов карбид CVD, части с покритие от синтерован TaC за растеж на кристали SiC или процес на епитаксия на полупроводници. Преминал ISO9001, VeTek Semiconductor има добър контрол върху качеството. VeTek Semiconductor е посветен да стане новатор в индустрията за покритие от танталов карбид чрез непрекъснати изследвания и развитие на итеративни технологии.

Основните продукти саВодещ пръстен с TaC покритие, Водещ пръстен с три венчелистчета с CVD TaC покритие, Полумесец с покритие от танталов карбид TaC, CVD TaC покритие планетарен SiC епитаксиален фиксатор, Пръстен с покритие от танталов карбид, Порест графит с покритие от танталов карбид, TaC Coating Rotation Susceptor, Пръстен от танталов карбид, Въртяща се плоча с покритие TaC, ТаС покритие за вафлен приемник, Дефлекторен пръстен с TaC покритие, CVD TaC покритие, Патронник с покритие TaCи т.н., чистотата е под 5ppm, може да отговори на изискванията на клиента.

Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD). Предимството е показано на снимката по-долу:

Excellent properties of TaC coating graphite

Покритието от танталов карбид (TaC) привлече вниманието поради високата си точка на топене до 3880°C, отлична механична якост, твърдост и устойчивост на термични удари, което го прави привлекателна алтернатива на процесите на комбинирана полупроводникова епитаксия с по-високи температурни изисквания, като Aixtron MOCVD система и LPE SiC епитаксиален процес. Също така има широко приложение в PVT метод SiC процес на растеж на кристали.

Ключови характеристики:

●Температурна стабилност

●Ултра висока чистота

●Устойчивост на H2, NH3, SiH4,Si

●Устойчивост на топлинен запас

●Силна адхезия към графит

●Конформно покритие на покритието

● Размер до 750 mm диаметър (единственият производител в Китай достига този размер)

Приложения:

●Вафлен носител

● Индуктивен топлинен приемник

● Резистивен нагревателен елемент

●Сателитен диск

●Душ слушалка

●Водещ пръстен

●LED Epi приемник

●Инжекционна дюза

●Маскиращ пръстен

● Топлинен щит

Покритие от танталов карбид (TaC) върху микроскопично напречно сечение:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Параметър на VeTek Semiconductor танталов карбид покритие:

Физични свойства на TaC покритието
Плътност	14,3 (g/cm³)
Специфична излъчвателна способност	0.3
Коефициент на термично разширение	6.3 10^-6/К
Твърдост (HK)	2000 HK
Съпротива	1×10^-5Ом*см
Термична стабилност	<2500 ℃
Размерът на графита се променя	-10~-20um
Дебелина на покритието	≥20um типична стойност (35um±10um)

TaC покритие EDX данни：

EDX data of TaC coating

Данни за кристалната структура на покритието TaC:

елемент	Атомен процент
	Пт. 1	Пт. 2	Пт. 3	Средно
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
М	47.90	42.59	47.63	46.04

Патронник за покритие TaC Планетен диск с TaC покритие
Плоча с покритие от TaC Въртяща се плоча с покритие TaC Приемник с покритие TaC CVD TaC покритие Cover CVD TaC пръстен с покритие ТаС покритие

View as

Tantalum карбиден пръстен

Като усъвършенстван производител и производител на продукти на пръстена Tantalum Carbide в Китай, полупроводниковият карбиден пръстен на Vetek има изключително висока твърдост, устойчивост на износване, висока температурна устойчивост и химическа стабилност и се използва широко в полето за производство на полупроводници. Особено при CVD, PVD, йонна имплантационен процес, процес на офорт и обработка на вафли и транспортиране, той е незаменим продукт за обработка и производство на полупроводници. Очакваме вашата допълнителна консултация.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Поддръжка на покритие от карбид Tantalum

Като професионален производител на продукти и фабрика за покритие на Carbide Tantalum, поддръжката на полупроводници на Vetek Tantalum Carbide обикновено се използва за повърхностно покритие на конструктивни компоненти или компоненти за поддръжка в оборудване за полупроводници, особено за повърхностна защита на ключовите компоненти на оборудването в процесите на производство на полупроводници, като CVD и PVD. Добре дошли вашата допълнителна консултация.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Tantalum Carbide Ride Ring

Vetek Semiconductor е професионален производител и лидер на продуктите на Tantalum Carbide Ring в Китай. Нашият водещ пръстен на Tantalum Carbide (TAC) е високоефективен компонент на пръстена, изработен от карбид Tantalum, който обикновено се използва в оборудване за полупроводници, особено във високотемпературна и силно корозивна среда като CVD, PVD, офорт и дифузия. Vetek Semiconductor се ангажира да предоставя усъвършенствани технологии и решения за продукти за полупроводниковата индустрия и приветства вашите допълнителни запитвания.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

ТАК СЪДЪРЖАНИЕ НА КОЛЕТИЯ

Като професионален производител, новатор и лидер на продуктите на ротацията на TAC Coating Rotation в Китай. Предоставящото се превключване на полупроводниковите покрития на Vetek обикновено се монтира в химическо отлагане на пари (CVD) и оборудване за епитаксия на молекулярния лъч (MBE) за поддържане и завъртане на вафли, за да се осигури равномерно отлагане на материал и ефективна реакция. Той е ключов компонент при обработката на полупроводници. Добре дошли вашата допълнителна консултация.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

CVD TAC покритие

Vetek Semiconductor е професионален производител и лидер на CVD TAC Coating Crucible Products в Китай. CVD TAC Coating Crucible се основава на покритието на Tantalum Carbon (TAC). Покритието на въглеродното покритие Tantalum е равномерно покрито на повърхността на тигела чрез процеса на отлагане на химически пари (CVD), за да се подобри топлинното му устойчивост и устойчивост на корозия. Това е материален инструмент, специално използван в екстремни среди с висока температура. Добре дошли вашата допълнителна консултация.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

CVD TAC покритие на вафли

Като професионален производител и фабрика за производство и фабрика за CVD CVD TAC, CVD CVD CVD CVD TAC Coating Cofle Carier е инструмент за носене на вафли, специално проектиран за висока температура и корозивна среда в производството на полупроводници. и CVD TAC покритие на вафли има висока механична якост, отлична устойчивост на корозия и термична стабилност, осигурявайки необходимата гаранция за производство на висококачествени полупроводникови устройства. Вашите допълнителни запитвания са добре дошли.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Като професионалист Покритие от танталов карбид производител и доставчик в Китай, ние имаме собствена фабрика. Независимо дали се нуждаете от персонализирани услуги, за да отговорите на специфичните нужди на вашия регион или искате да закупите модерни и издръжливи Покритие от танталов карбид, направени в Китай, можете да ни оставите съобщение.

QR код

За нас

Продукти

Свържете се с нас

Телефон
+86-15988690905
факс
+86-579-87223657
Електронна поща
anny@veteksemi.com
Адрес
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, Китай

Уеб меню

Търсене на продукти

език

Изход от менюто

Покритие от танталов карбид

Ключови характеристики:

Приложения:

Покритие от танталов карбид (TaC) върху микроскопично напречно сечение:

Параметър на VeTek Semiconductor танталов карбид покритие:

TaC покритие EDX данни：

Данни за кристалната структура на покритието TaC:

Tantalum карбиден пръстен

Поддръжка на покритие от карбид Tantalum

Tantalum Carbide Ride Ring

ТАК СЪДЪРЖАНИЕ НА КОЛЕТИЯ

CVD TAC покритие

CVD TAC покритие на вафли

Изпратете запитване

QR код

За нас

Продукти

Свържете се с нас

Телефон

факс

Електронна поща

Адрес