Покритие от танталов карбид

VeTek semiconductor е водещ производител на материали за покритие от танталов карбид за полупроводниковата индустрия. Нашите основни продуктови предложения включват части с покритие от танталов карбид CVD, части с покритие от синтерован TaC за растеж на кристали SiC или процес на епитаксия на полупроводници. Преминал ISO9001, VeTek Semiconductor има добър контрол върху качеството. VeTek Semiconductor е посветен да стане новатор в индустрията за покритие от танталов карбид чрез непрекъснати изследвания и развитие на итеративни технологии.

Основните продукти саВодещ пръстен с TaC покритие, Водещ пръстен с три венчелистчета с CVD TaC покритие, Полумесец с покритие от танталов карбид TaC, CVD TaC покритие планетарен SiC епитаксиален фиксатор, Пръстен с покритие от танталов карбид, Порест графит с покритие от танталов карбид, TaC Coating Rotation Susceptor, Пръстен от танталов карбид, Въртяща се плоча с покритие TaC, ТаС покритие за вафлен приемник, Дефлекторен пръстен с TaC покритие, CVD TaC покритие, Патронник с покритие TaCи т.н., чистотата е под 5ppm, може да отговори на изискванията на клиента.

Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD). Предимството е показано на снимката по-долу:

Excellent properties of TaC coating graphite

Покритието от танталов карбид (TaC) привлече вниманието поради високата си точка на топене до 3880°C, отлична механична якост, твърдост и устойчивост на термични удари, което го прави привлекателна алтернатива на процесите на комбинирана полупроводникова епитаксия с по-високи температурни изисквания, като Aixtron MOCVD система и LPE SiC епитаксиален процес. Също така има широко приложение в PVT метод SiC процес на растеж на кристали.

Ключови характеристики:

●Температурна стабилност

●Ултра висока чистота

●Устойчивост на H2, NH3, SiH4,Si

●Устойчивост на топлинен запас

●Силна адхезия към графит

●Конформно покритие на покритието

● Размер до 750 mm диаметър (единственият производител в Китай достига този размер)

Приложения:

●Вафлен носител

● Индуктивен топлинен приемник

● Резистивен нагревателен елемент

●Сателитен диск

●Душ слушалка

●Водещ пръстен

●LED Epi приемник

●Инжекционна дюза

●Маскиращ пръстен

● Топлинен щит

Покритие от танталов карбид (TaC) върху микроскопично напречно сечение:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Параметър на VeTek Semiconductor танталов карбид покритие:

Физични свойства на TaC покритието
Плътност	14,3 (g/cm³)
Специфична излъчвателна способност	0.3
Коефициент на термично разширение	6.3 10^-6/К
Твърдост (HK)	2000 HK
Съпротива	1×10^-5Ом*см
Термична стабилност	<2500 ℃
Размерът на графита се променя	-10~-20um
Дебелина на покритието	≥20um типична стойност (35um±10um)

TaC покритие EDX данни：

EDX data of TaC coating

Данни за кристалната структура на покритието TaC:

елемент	Атомен процент
	Пт. 1	Пт. 2	Пт. 3	Средно
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
М	47.90	42.59	47.63	46.04

Патронник за покритие TaC Планетен диск с TaC покритие
Плоча с покритие от TaC Въртяща се плоча с покритие TaC Приемник с покритие TaC CVD TaC покритие Cover CVD TaC пръстен с покритие ТаС покритие

View as

TaC Coating Rotation Susceptor

Като професионален производител, новатор и лидер на TaC Coating Rotation Susceptor продукти в Китай. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor обикновено се инсталира в оборудване за химическо отлагане на пари (CVD) и епитаксия с молекулярни лъчи (MBE), за да поддържа и върти пластини, за да осигури равномерно отлагане на материала и ефективна реакция. Това е ключов компонент в обработката на полупроводници. Приветстваме вашата допълнителна консултация.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

CVD TaC тигел за покритие

VeTek Semiconductor е професионален производител и лидер на CVD TaC Coating Crucible продукти в Китай. CVD TaC Coating Crucible е базиран на покритие от танталов въглерод (TaC). Танталовото въглеродно покритие е равномерно покрито върху повърхността на тигела чрез процес на химическо отлагане на пари (CVD), за да се повиши неговата топлоустойчивост и устойчивост на корозия. Това е материален инструмент, използван специално в екстремни среди с висока температура. Приветстваме вашата допълнителна консултация.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

CVD TAC покритие на вафли

Като професионален производител и фабрика за производство и фабрика за CVD CVD TAC, CVD CVD CVD CVD TAC Coating Cofle Carier е инструмент за носене на вафли, специално проектиран за висока температура и корозивна среда в производството на полупроводници. и CVD TAC покритие на вафли има висока механична якост, отлична устойчивост на корозия и термична стабилност, осигурявайки необходимата гаранция за производство на висококачествени полупроводникови устройства. Вашите допълнителни запитвания са добре дошли.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

TaC нагревател за покритие

VeTek Semiconductor TaC Coating Heater има изключително висока точка на топене (около 3880°C). Високата точка на топене му позволява да работи при изключително високи температури, особено при растежа на епитаксиални слоеве от галиев нитрид (GaN) в процеса на металоорганично химическо отлагане на пари (MOCVD). VeTek Semiconductor се ангажира да предоставя на клиентите персонализирани продуктови решения. Очакваме с нетърпение да чуем от вас.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

CVD TAC покритие

VeTek Semiconductor е водещ производител на CVD TAC покрития в Китай. В продължение на много години ние се фокусираме върху различни продукти за CVD TAC покритие като CVD TaC покритие, пръстен за CVD TaC покритие. VeTek Semiconductor поддържа персонализирани продуктови услуги и задоволителни цени на продуктите и очаква вашите допълнителни консултации.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Tac покрит патрон

Със своята висока температурна устойчивост, химическа инертност и отлични характеристики, патронните патрони на Vetek Semiconductor са проектирани за полупроводникови пещи. Вярваме, че нашите продукти могат да ви донесат модерни технологии и качествени решения за продукти.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Като професионалист Покритие от танталов карбид производител и доставчик в Китай, ние имаме собствена фабрика. Независимо дали се нуждаете от персонализирани услуги, за да отговорите на специфичните нужди на вашия регион или искате да закупите модерни и издръжливи Покритие от танталов карбид, направени в Китай, можете да ни оставите съобщение.

QR код

За нас

Продукти

Свържете се с нас

Телефон
+86-18069220752
факс
+86-579-87223657
Електронна поща
anny@veteksemi.com
Адрес
Wangda Road, улица Зиян, окръг Вуи, град Джинхуа, провинция Жеджианг, Китай

Уеб меню

Търсене на продукти

език

Изход от менюто

Покритие от танталов карбид

Ключови характеристики:

Приложения:

Покритие от танталов карбид (TaC) върху микроскопично напречно сечение:

Параметър на VeTek Semiconductor танталов карбид покритие:

TaC покритие EDX данни：

Данни за кристалната структура на покритието TaC:

TaC Coating Rotation Susceptor

CVD TaC тигел за покритие

CVD TAC покритие на вафли

TaC нагревател за покритие

CVD TAC покритие

Tac покрит патрон

Изпратете запитване

QR код

За нас

Продукти

Свържете се с нас

Телефон

факс

Електронна поща

Адрес