Покритие от танталов карбид

VeTek semiconductor е водещ производител на материали за покритие от танталов карбид за полупроводниковата индустрия. Нашите основни продуктови предложения включват части с покритие от танталов карбид CVD, части с покритие от синтерован TaC за растеж на кристали SiC или процес на епитаксия на полупроводници. Преминал ISO9001, VeTek Semiconductor има добър контрол върху качеството. VeTek Semiconductor е посветен да стане новатор в индустрията за покритие от танталов карбид чрез непрекъснати изследвания и развитие на итеративни технологии.

Основните продукти саВодещ пръстен с TaC покритие, Водещ пръстен с три венчелистчета с CVD TaC покритие, Полумесец с покритие от танталов карбид TaC, CVD TaC покритие планетарен SiC епитаксиален фиксатор, Пръстен с покритие от танталов карбид, Порест графит с покритие от танталов карбид, TaC Coating Rotation Susceptor, Пръстен от танталов карбид, Въртяща се плоча с покритие TaC, ТаС покритие за вафлен приемник, Дефлекторен пръстен с TaC покритие, CVD TaC покритие, Патронник с покритие TaCи т.н., чистотата е под 5ppm, може да отговори на изискванията на клиента.

Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD). Предимството е показано на снимката по-долу:

Excellent properties of TaC coating graphite

Покритието от танталов карбид (TaC) привлече вниманието поради високата си точка на топене до 3880°C, отлична механична якост, твърдост и устойчивост на термични удари, което го прави привлекателна алтернатива на процесите на комбинирана полупроводникова епитаксия с по-високи температурни изисквания, като Aixtron MOCVD система и LPE SiC епитаксиален процес. Също така има широко приложение в PVT метод SiC процес на растеж на кристали.

Ключови характеристики:

●Температурна стабилност

●Ултра висока чистота

●Устойчивост на H2, NH3, SiH4,Si

●Устойчивост на топлинен запас

●Силна адхезия към графит

●Конформно покритие на покритието

● Размер до 750 mm диаметър (единственият производител в Китай достига този размер)

Приложения:

●Вафлен носител

● Индуктивен топлинен приемник

● Резистивен нагревателен елемент

●Сателитен диск

●Душ слушалка

●Водещ пръстен

●LED Epi приемник

●Инжекционна дюза

●Маскиращ пръстен

● Топлинен щит

Покритие от танталов карбид (TaC) върху микроскопично напречно сечение:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Параметър на VeTek Semiconductor танталов карбид покритие:

Физични свойства на TaC покритието
Плътност	14,3 (g/cm³)
Специфична излъчвателна способност	0.3
Коефициент на термично разширение	6.3 10^-6/К
Твърдост (HK)	2000 HK
Съпротива	1×10^-5Ом*см
Термична стабилност	<2500 ℃
Размерът на графита се променя	-10~-20um
Дебелина на покритието	≥20um типична стойност (35um±10um)

TaC покритие EDX данни：

EDX data of TaC coating

Данни за кристалната структура на покритието TaC:

елемент	Атомен процент
	Пт. 1	Пт. 2	Пт. 3	Средно
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
М	47.90	42.59	47.63	46.04

Патронник за покритие TaC Планетен диск с TaC покритие
Плоча с покритие от TaC Въртяща се плоча с покритие TaC Приемник с покритие TaC CVD TaC покритие Cover CVD TaC пръстен с покритие ТаС покритие

View as

TAC Coating Suber

Полупроводник на Vetek представя SOSCEPTOR TAC Coating, с изключителното си покритие на TAC, този светец предлага множество предимства, които го отделят от конвенционалните разтвори. Интергенерирането на безпроблемно в съществуващите системи, TAC покритие на обстановка от полупроводника на Vetek гарантира, че е композиция и ефективна работа. Надеждният му производителност и висококачественото TAC покритие последователно дават изключителни резултати в процесите на Epitaxy SIC.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

TAC покритие за въртене на покритието

TAC покритие на въртене на покритието, произведена от Vetek Semiconductor, се гордее с изключително покритие на TAC, с нейното изключително покритие на TAC, TAC покритие с въртяща се плоча има забележителна устойчивост на високотемпературата и химическа инертност, която го отделя от традиционните решения.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Tac покритие

Проектиран с прецизност и проектиран до съвършенство, табелата за покритие на полупроводника на Vetek е специално пригодена за различни приложения в процесите на растеж на силициев карбид (SIC). Надеждният му производителност и висококачественото покритие допринасят за последователни и равномерни резултати в приложенията за растеж на кристали SIC.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

CVD TAC покритие за покритие

CVD TAC покритие за покритие, осигурен от Vetek Semiconductor, е високо специализиран компонент, създаден специално за взискателни приложения. Със своите усъвършенствани функции и изключителна производителност, нашият CVD покритие на CVD TAC предлага няколко ключови предимства. Нашият CVD TAC покритие за покритие осигурява необходимата защита и производителност, необходими за успех. Очакваме с нетърпение да проучим потенциалното сътрудничество с вас!

Виж повече >> Изпратете запитване >>

TAC покритие планетарен престор

TAC покритие планетарен светец е изключителен продукт за оборудване Aixtron Epitaxy. TAC покритието на Vetek Semiconductor осигурява отлична висока температурна устойчивост и химическа инертност. Тази уникална комбинация гарантира надеждна ефективност и дълъг експлоатационен живот, дори в взискателни среди. Vetek се ангажира да предоставя висококачествени продукти и да служи като дългосрочен партньор на китайския пазар с конкурентни цени.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Табела за поддръжка на пиедестал

TAC покритието може да издържи висока температура от 2200 ℃. Vetek Semiconductor осигурява покритие с висока чистота с примеси под 5PPM в Китай. TAC покритие за поддържаща плоча за педестал е в състояние да издържи на амоняк водород, аргонин в камерата за реакция на епитаксиалното устройство. Той подобрява експлоатационния живот на продукта. Вие предоставяте изискванията, ние предоставяме персонализиране.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Като професионалист Покритие от танталов карбид производител и доставчик в Китай, ние имаме собствена фабрика. Независимо дали се нуждаете от персонализирани услуги, за да отговорите на специфичните нужди на вашия регион или искате да закупите модерни и издръжливи Покритие от танталов карбид, направени в Китай, можете да ни оставите съобщение.

QR код

За нас

Продукти

Свържете се с нас

Телефон
+86-18069220752
факс
+86-579-87223657
Електронна поща
anny@veteksemi.com
Адрес
Wangda Road, улица Зиян, окръг Вуи, град Джинхуа, провинция Жеджианг, Китай

Уеб меню

Търсене на продукти

език

Изход от менюто

Покритие от танталов карбид

Ключови характеристики:

Приложения:

Покритие от танталов карбид (TaC) върху микроскопично напречно сечение:

Параметър на VeTek Semiconductor танталов карбид покритие:

TaC покритие EDX данни：

Данни за кристалната структура на покритието TaC:

TAC Coating Suber

TAC покритие за въртене на покритието

Tac покритие

CVD TAC покритие за покритие

TAC покритие планетарен престор

Табела за поддръжка на пиедестал

Изпратете запитване

QR код

За нас

Продукти

Свържете се с нас

Телефон

факс

Електронна поща

Адрес