Покритие от танталов карбид

VeTek semiconductor е водещ производител на материали за покритие от танталов карбид за полупроводниковата индустрия. Нашите основни продуктови предложения включват части с покритие от танталов карбид CVD, части с покритие от синтерован TaC за растеж на кристали SiC или процес на епитаксия на полупроводници. Преминал ISO9001, VeTek Semiconductor има добър контрол върху качеството. VeTek Semiconductor е посветен да стане новатор в индустрията за покритие от танталов карбид чрез непрекъснати изследвания и развитие на итеративни технологии.

Основните продукти саВодещ пръстен с TaC покритие, Водещ пръстен с три венчелистчета с CVD TaC покритие, Полумесец с покритие от танталов карбид TaC, CVD TaC покритие планетарен SiC епитаксиален фиксатор, Пръстен с покритие от танталов карбид, Порест графит с покритие от танталов карбид, TaC Coating Rotation Susceptor, Пръстен от танталов карбид, Въртяща се плоча с покритие TaC, ТаС покритие за вафлен приемник, Дефлекторен пръстен с TaC покритие, CVD TaC покритие, Патронник с покритие TaCи т.н., чистотата е под 5ppm, може да отговори на изискванията на клиента.

Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD). Предимството е показано на снимката по-долу:

Excellent properties of TaC coating graphite

Покритието от танталов карбид (TaC) привлече вниманието поради високата си точка на топене до 3880°C, отлична механична якост, твърдост и устойчивост на термични удари, което го прави привлекателна алтернатива на процесите на комбинирана полупроводникова епитаксия с по-високи температурни изисквания, като Aixtron MOCVD система и LPE SiC епитаксиален процес. Също така има широко приложение в PVT метод SiC процес на растеж на кристали.

Ключови характеристики:

●Температурна стабилност

●Ултра висока чистота

●Устойчивост на H2, NH3, SiH4,Si

●Устойчивост на топлинен запас

●Силна адхезия към графит

●Конформно покритие на покритието

● Размер до 750 mm диаметър (единственият производител в Китай достига този размер)

Приложения:

●Вафлен носител

● Индуктивен топлинен приемник

● Резистивен нагревателен елемент

●Сателитен диск

●Душ слушалка

●Водещ пръстен

●LED Epi приемник

●Инжекционна дюза

●Маскиращ пръстен

● Топлинен щит

Покритие от танталов карбид (TaC) върху микроскопично напречно сечение:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Параметър на VeTek Semiconductor танталов карбид покритие:

Физични свойства на TaC покритието
Плътност	14,3 (g/cm³)
Специфична излъчвателна способност	0.3
Коефициент на термично разширение	6.3 10^-6/К
Твърдост (HK)	2000 HK
Съпротива	1×10^-5Ом*см
Термична стабилност	<2500 ℃
Размерът на графита се променя	-10~-20um
Дебелина на покритието	≥20um типична стойност (35um±10um)

TaC покритие EDX данни：

EDX data of TaC coating

Данни за кристалната структура на покритието TaC:

елемент	Атомен процент
	Пт. 1	Пт. 2	Пт. 3	Средно
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
М	47.90	42.59	47.63	46.04

Патронник за покритие TaC Планетен диск с TaC покритие
Плоча с покритие от TaC Въртяща се плоча с покритие TaC Приемник с покритие TaC CVD TaC покритие Cover CVD TaC пръстен с покритие ТаС покритие

View as

Пръстен с три венчелистчета с TaC покритие

Vetek Semiconductor е водещ производител и новатор на пръстени с тритонези, покрити с TAC. Ние сме специализирани в TAC и SIC покритие от много години. Нашите продукти имат устойчивост на корозия, висока якост. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Чък с покритие от карбид на танталум

Vetek Semiconductor е водещ производител на патронник и новатор, покрито с карбид Tantalum. Ние сме специализирани в TAC покритие от много години. Нашите продукти имат висока чистота и висока температурна устойчивост до 2000 ℃. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Покритие с покритие с карбид от танталум

Vetek Semiconductor е водещ производител на покритие и новатор на покритие с карбид Tantalum. Ние сме специализирани в TAC и SIC покритие от много години. Нашите продукти имат устойчивост на корозия, висока якост. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Ултра чист графит долен полумесец

Vetek Semiconductor е водещ доставчик на персонализиран Ultra Pure Graphite долен полумесец в Китай, специализиран в напреднали материали в продължение на много години. Нашият Ultra Pure Graphite долен полумесец е специално проектиран за Epitaxial оборудване SIC, осигурявайки отлична производителност. Произведен от ултра-пури вносен графит, той предлага надеждност и издръжливост. Посетете нашата фабрика в Китай, за да разгледате нашата висококачествена Ultra Pure Graphite долен полумесец от първа ръка.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Горна половина част от част SIC покритие

Vetek Semiconductor е водещ доставчик на персонализиран горен полумесец, покрит в Китай, специализиран в модерни материали за повече от 20 години. Vetek Semiconductor горната част на половинмун част SIC покритие е специално проектирано за SIC епитаксиално оборудване, което служи като решаващ компонент в реакционната камера. Изработен от графит с ултра-пури, полупроводникови, той осигурява отлично представяне. Каним ви да посетите нашата фабрика в Китай.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Силициев карбид епитаксия вафли

Vetek Semiconductor е водещ персонализиран доставчик на превозвачи за епитаксия на силициев карбид в Китай. Ние сме специализирани в напреднали материали повече от 20 години. Предлагаме силициев карбид епитаксична вафла за носене на SIC субстрат, отглеждащ SIC е епитаксийски слой в SIC епитаксиален реактор. Този носител на вафли на силициев карбид е важна част от SIC, покрита с половин местна част, висока температурна устойчивост, устойчивост на окисляване, устойчивост на износване. Приветстваме ви да посетите нашата фабрика в Китай.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Като професионалист Покритие от танталов карбид производител и доставчик в Китай, ние имаме собствена фабрика. Независимо дали се нуждаете от персонализирани услуги, за да отговорите на специфичните нужди на вашия регион или искате да закупите модерни и издръжливи Покритие от танталов карбид, направени в Китай, можете да ни оставите съобщение.

QR код

За нас

Продукти

Свържете се с нас

Телефон
+86-18069220752
факс
+86-579-87223657
Електронна поща
anny@veteksemi.com
Адрес
Wangda Road, улица Зиян, окръг Вуи, град Джинхуа, провинция Жеджианг, Китай

Уеб меню

Търсене на продукти

език

Изход от менюто

Покритие от танталов карбид

Ключови характеристики:

Приложения:

Покритие от танталов карбид (TaC) върху микроскопично напречно сечение:

Параметър на VeTek Semiconductor танталов карбид покритие:

TaC покритие EDX данни：

Данни за кристалната структура на покритието TaC:

Пръстен с три венчелистчета с TaC покритие

Чък с покритие от карбид на танталум

Покритие с покритие с карбид от танталум

Ултра чист графит долен полумесец

Горна половина част от част SIC покритие

Силициев карбид епитаксия вафли

Изпратете запитване

QR код

За нас

Продукти

Свържете се с нас

Телефон

факс

Електронна поща

Адрес