Продукти

Покритие от танталов карбид

VeTek semiconductor е водещ производител на материали за покритие от танталов карбид за полупроводниковата индустрия. Нашите основни продуктови предложения включват части с покритие от танталов карбид CVD, части с покритие от синтерован TaC за растеж на кристали SiC или процес на епитаксия на полупроводници. Преминал ISO9001, VeTek Semiconductor има добър контрол върху качеството. VeTek Semiconductor е посветен да стане новатор в индустрията за покритие от танталов карбид чрез непрекъснати изследвания и развитие на итеративни технологии.


Основните продукти саВодещ пръстен с TaC покритие, Водещ пръстен с три венчелистчета с CVD TaC покритие, Полумесец с покритие от танталов карбид TaC, CVD TaC покритие планетарен SiC епитаксиален фиксатор, Пръстен с покритие от танталов карбид, Порест графит с покритие от танталов карбид, TaC Coating Rotation Susceptor, Пръстен от танталов карбид, Въртяща се плоча с покритие TaC, ТаС покритие за вафлен приемник, Дефлекторен пръстен с TaC покритие, CVD TaC покритие, Патронник с покритие TaCи т.н., чистотата е под 5ppm, може да отговори на изискванията на клиента.


Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD). Предимството е показано на снимката по-долу:


Excellent properties of TaC coating graphite


Покритието от танталов карбид (TaC) привлече вниманието поради високата си точка на топене до 3880°C, отлична механична якост, твърдост и устойчивост на термични удари, което го прави привлекателна алтернатива на процесите на комбинирана полупроводникова епитаксия с по-високи температурни изисквания, като Aixtron MOCVD система и LPE SiC епитаксиален процес. Също така има широко приложение в PVT метод SiC процес на растеж на кристали.


Ключови характеристики:

 ●Температурна стабилност

 ●Ултра висока чистота

 ●Устойчивост на H2, NH3, SiH4,Si

 ●Устойчивост на топлинен запас

 ●Силна адхезия към графит

 ●Конформно покритие на покритието

 Размер до 750 mm диаметър (единственият производител в Китай достига този размер)


Приложения:

 ●Вафлен носител

 ● Индуктивен топлинен приемник

 ● Резистивен нагревателен елемент

 ●Сателитен диск

 ●Душ слушалка

 ●Водещ пръстен

 ●LED Epi приемник

 ●Инжекционна дюза

 ●Маскиращ пръстен

 ● Топлинен щит


Покритие от танталов карбид (TaC) върху микроскопично напречно сечение:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Параметър на VeTek Semiconductor танталов карбид покритие:

Физични свойства на TaC покритието
Плътност 14,3 (g/cm³)
Специфична излъчвателна способност 0.3
Коефициент на термично разширение 6.3 10-6
Твърдост (HK) 2000 HK
Съпротива 1×10-5Ом*см
Термична стабилност <2500 ℃
Размерът на графита се променя -10~-20um
Дебелина на покритието ≥20um типична стойност (35um±10um)


TaC покритие EDX данни

EDX data of TaC coating


Данни за кристалната структура на покритието TaC:

елемент Атомен процент
Пт. 1 Пт. 2 Пт. 3 Средно
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
М 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Покритие с покритие с карбид от танталум

Покритие с покритие с карбид от танталум

Vetek Semiconductor е водещ производител на покритие и новатор на покритие с карбид Tantalum. Ние сме специализирани в TAC и SIC покритие от много години. Нашите продукти имат устойчивост на корозия, висока якост. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.
Ултра чист графит долен полумесец

Ултра чист графит долен полумесец

Vetek Semiconductor е водещ доставчик на персонализиран Ultra Pure Graphite долен полумесец в Китай, специализиран в напреднали материали в продължение на много години. Нашият Ultra Pure Graphite долен полумесец е специално проектиран за Epitaxial оборудване SIC, осигурявайки отлична производителност. Произведен от ултра-пури вносен графит, той предлага надеждност и издръжливост. Посетете нашата фабрика в Китай, за да разгледате нашата висококачествена Ultra Pure Graphite долен полумесец от първа ръка.
Горна половина част от част SIC покритие

Горна половина част от част SIC покритие

Vetek Semiconductor е водещ доставчик на персонализиран горен полумесец, покрит в Китай, специализиран в модерни материали за повече от 20 години. Vetek Semiconductor горната част на половинмун част SIC покритие е специално проектирано за SIC епитаксиално оборудване, което служи като решаващ компонент в реакционната камера. Изработен от графит с ултра-пури, полупроводникови, той осигурява отлично представяне. Каним ви да посетите нашата фабрика в Китай.
Силициев карбид епитаксия вафли

Силициев карбид епитаксия вафли

Vetek Semiconductor е водещ персонализиран доставчик на превозвачи за епитаксия на силициев карбид в Китай. Ние сме специализирани в напреднали материали повече от 20 години. Предлагаме силициев карбид епитаксична вафла за носене на SIC субстрат, отглеждащ SIC е епитаксийски слой в SIC епитаксиален реактор. Този носител на вафли на силициев карбид е важна част от SIC, покрита с половин местна част, висока температурна устойчивост, устойчивост на окисляване, устойчивост на износване. Приветстваме ви да посетите нашата фабрика в Китай.
Пореста графит с так покритие

Пореста графит с так покритие

Порестият графит с TAC покритие е усъвършенстван материал за обработка на полупроводници, осигурен от полупроводник Vetek. Порестият графит с TAC покритие комбинира предимствата на пореста графит и танталум карбид (TAC), с добра топлопроводимост и проницаемост на газа. Vetek Semiconductor се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени.
Покритие за покритие на карбид tantalum

Покритие за покритие на карбид tantalum

Капакът за покритие на карбид Tantalum е съставен от графит с висока чистота и TAC покритие. Vetek Semiconductor е водещ доставчик и производител на покритие за покритие Tantalum Carbide в Китай. Ние се фокусираме върху осигуряването на високо чистота, високотемпературна устойчива на карбидни продукти на Tantalum. Нашето покритие с карбидно покритие Tantalum има отлична производителност и надеждност и може ефективно да защити материалите в изключително висока температура и корозивна среда. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай. Добре дошли да се консултирате по всяко време.
Като професионалист Покритие от танталов карбид производител и доставчик в Китай, ние имаме собствена фабрика. Независимо дали се нуждаете от персонализирани услуги, за да отговорите на специфичните нужди на вашия регион или искате да закупите модерни и издръжливи Покритие от танталов карбид, направени в Китай, можете да ни оставите съобщение.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept