Покритие от танталов карбид

VeTek semiconductor е водещ производител на материали за покритие от танталов карбид за полупроводниковата индустрия. Нашите основни продуктови предложения включват части с покритие от танталов карбид CVD, части с покритие от синтерован TaC за растеж на кристали SiC или процес на епитаксия на полупроводници. Преминал ISO9001, VeTek Semiconductor има добър контрол върху качеството. VeTek Semiconductor е посветен да стане новатор в индустрията за покритие от танталов карбид чрез непрекъснати изследвания и развитие на итеративни технологии.

Основните продукти саВодещ пръстен с TaC покритие, Водещ пръстен с три венчелистчета с CVD TaC покритие, Полумесец с покритие от танталов карбид TaC, CVD TaC покритие планетарен SiC епитаксиален фиксатор, Пръстен с покритие от танталов карбид, Порест графит с покритие от танталов карбид, TaC Coating Rotation Susceptor, Пръстен от танталов карбид, Въртяща се плоча с покритие TaC, ТаС покритие за вафлен приемник, Дефлекторен пръстен с TaC покритие, CVD TaC покритие, Патронник с покритие TaCи т.н., чистотата е под 5ppm, може да отговори на изискванията на клиента.

Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD). Предимството е показано на снимката по-долу:

Excellent properties of TaC coating graphite

Покритието от танталов карбид (TaC) привлече вниманието поради високата си точка на топене до 3880°C, отлична механична якост, твърдост и устойчивост на термични удари, което го прави привлекателна алтернатива на процесите на комбинирана полупроводникова епитаксия с по-високи температурни изисквания, като Aixtron MOCVD система и LPE SiC епитаксиален процес. Също така има широко приложение в PVT метод SiC процес на растеж на кристали.

Ключови характеристики:

●Температурна стабилност

●Ултра висока чистота

●Устойчивост на H2, NH3, SiH4,Si

●Устойчивост на топлинен запас

●Силна адхезия към графит

●Конформно покритие на покритието

● Размер до 750 mm диаметър (единственият производител в Китай достига този размер)

Приложения:

●Вафлен носител

● Индуктивен топлинен приемник

● Резистивен нагревателен елемент

●Сателитен диск

●Душ слушалка

●Водещ пръстен

●LED Epi приемник

●Инжекционна дюза

●Маскиращ пръстен

● Топлинен щит

Покритие от танталов карбид (TaC) върху микроскопично напречно сечение:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Параметър на VeTek Semiconductor танталов карбид покритие:

Физични свойства на TaC покритието
Плътност	14,3 (g/cm³)
Специфична излъчвателна способност	0.3
Коефициент на термично разширение	6.3 10^-6/К
Твърдост (HK)	2000 HK
Съпротива	1×10^-5Ом*см
Термична стабилност	<2500 ℃
Размерът на графита се променя	-10~-20um
Дебелина на покритието	≥20um типична стойност (35um±10um)

TaC покритие EDX данни：

EDX data of TaC coating

Данни за кристалната структура на покритието TaC:

елемент	Атомен процент
	Пт. 1	Пт. 2	Пт. 3	Средно
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
М	47.90	42.59	47.63	46.04

Патронник за покритие TaC Планетен диск с TaC покритие
Плоча с покритие от TaC Въртяща се плоча с покритие TaC Приемник с покритие TaC CVD TaC покритие Cover CVD TaC пръстен с покритие ТаС покритие

View as

CVD TAC покритие

В полупроводниковата индустрия CVD TAC покривният пръстен е изключително изгоден компонент, предназначен да отговаря на взискателните изисквания на процесите на растеж на кристала на силициевия карбид (SIC). CVD CVD CVD TAC покритие на CVD TAC осигурява изключителна устойчивост на висока температура и химическа инертност, което го прави идеален избор за среда, характеризираща се с повишени температури и корозивни състояния. Моля, не се колебайте да се свържете с нас за повече въпроси.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Lpe sic epi halfmoon

LPE SIC EPI Halfmoon е специален дизайн за хоризонтална епитаксия пещ, революционен продукт, предназначен да издигне LPE реактор SIC Epitaxy процеси. Това авангардно решение може да се похвали с няколко ключови характеристики, които гарантират превъзходна производителност и ефективност в производствените ви операции.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

LED EPI

Vetek Semiconductor е водещ доставчик на TAC покрития и графитни части за покритие. Ние сме специализирани в производството на авангардни LED SEPI Susteptors, от съществено значение за LED процесите на епитаксия. Очакваме вашата допълнителна консултация.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

MOCVD Susceptor с TaC покритие

VeTek Semiconductor е цялостен доставчик, участващ в изследванията, разработването, производството, проектирането и продажбите на TaC покрития и SiC покрития. Нашият опит се крие в производството на най-съвременните MOCVD Susceptor с TaC покритие, които играят жизненоважна роля в процеса на LED епитаксия. Приветстваме ви да обсъдите с нас запитвания и допълнителна информация.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

TAC покрит дълбок UV светодиоден чувствител

TAC Coating е ново поколение покритие, развиващо се за сурова среда. Ние сме специализирани в производството на UV LED SOVEPTORS, покрити с UV, които са решаващи компоненти в процеса на LED епитаксия. Нашият TAC покрит дълбок UV светодиод предлага висока топлопроводимост, висока механична якост, подобрена ефективност на производството и епитаксиална защита от вафли. Добре дошли да ни запитат.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Tantalum карбид TAC покрит полумесец

Частите на Halfmoon, покрити с CVD TaC покритие, са по-издръжливи от полумесечните части с SiC покритие. VeTek Semiconductor е водещият производител и доставчик в Китай на Halfmoon с TaC покритие от танталов карбид, ние сме специализирани в научноизследователска и развойна дейност и производство, можем да контролираме добре качеството и да предложим конкурентна цена. Добре дошли сте да посетите нашата фабрика за по-нататъшно обсъждане на дългосрочно сътрудничество.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Като професионалист Покритие от танталов карбид производител и доставчик в Китай, ние имаме собствена фабрика. Независимо дали се нуждаете от персонализирани услуги, за да отговорите на специфичните нужди на вашия регион или искате да закупите модерни и издръжливи Покритие от танталов карбид, направени в Китай, можете да ни оставите съобщение.

QR код

За нас

Продукти

Свържете се с нас

Телефон
+86-18069220752
факс
+86-579-87223657
Електронна поща
anny@veteksemi.com
Адрес
Wangda Road, улица Зиян, окръг Вуи, град Джинхуа, провинция Жеджианг, Китай

Уеб меню

Търсене на продукти

език

Изход от менюто

Покритие от танталов карбид

Ключови характеристики:

Приложения:

Покритие от танталов карбид (TaC) върху микроскопично напречно сечение:

Параметър на VeTek Semiconductor танталов карбид покритие:

TaC покритие EDX данни：

Данни за кристалната структура на покритието TaC:

CVD TAC покритие

Lpe sic epi halfmoon

LED EPI

MOCVD Susceptor с TaC покритие

TAC покрит дълбок UV светодиоден чувствител

Tantalum карбид TAC покрит полумесец

Изпратете запитване

QR код

За нас

Продукти

Свържете се с нас

Телефон

факс

Електронна поща

Адрес