TAC Coating Suber

TAC Sostceptor и Semiconductor на Vetek Semiconductor иTAC покритиепръстенработят заедно в епитаксиалния реактор на растежа на LPE силициев карбид:

● Високотемпературна устойчивост: TheTAC покритиеСусецепторът има отлична висока температурна устойчивост, способна да издържи на екстремните температури до 1500 ° C вLPE реактор. Това гарантира, че оборудването и компонентите не се деформират или не се повредят по време на дългосрочна работа.

● Химическа стабилност: Сондаторът за покритие на TAC се представя изключително добре в корозивната среда за растеж на силициев карбид, като ефективно предпазва компонентите на реактора от корозивна химическа атака, като по този начин удължава експлоатационния си живот.

● Термична стабилност: Въпросът на TAC покритие има добра топлинна стабилност, поддържайки морфологията и грапавостта на повърхността, за да гарантира равномерността на температурното поле в реактора, което е полезно за висококачествения растеж на епитаксиалните слоеве на силициевия карбид.

● Анти-замърсяване: Гладката повърхност, покрита с ТАК и превъзходната експлоатация на TPD (температурно програмирана десорбция), могат да сведат до минимум натрупването и адсорбцията на частици и примеси вътре в реактора, предотвратявайки замърсяването на епитаксиалните слоеве.

В обобщение, SOSCEPTOR и пръстена, покрит с TAC, играят критична защитна роля в реактора на епитаксиалния растеж на LPE силициев карбид, като гарантират дългосрочната стабилна работа на оборудването и висококачествения растеж на епитаксиалните слоеве.