Графитна поддръжка с покритие

Добре дошли сте да дойдете в нашата фабрика VeTek Semiconductor, за да закупите най-новия продаден графитен ток на ниска цена и с високо качество TaC покритие. Очакваме с нетърпение да си сътрудничим с вас.

Tantalum карбиден керамичен материал Точка на топене до 3880 ℃, е висока точка на топене и добра химическа стабилност на съединението, неговата висока температурна среда все още може да поддържа стабилна характеристика, в допълнение, тя също има висока температурна устойчивост, химическа устойчивост на корозия, добра химическа и механична съвместимост с въглеродни материали и други характеристики, което я прави идеален графитен субстрат защитен материал за покритие. Покритието на карбидното танталум може ефективно да предпази графитните компоненти от влиянието на горещия амоняк, водородния и силициевия пари и разтопения метал в суровата среда за използване, значително удължава експлоатационния живот на графитните компоненти и инхибира миграцията на примесите в графита, гарантиране на качеството на растежа на епитаксия и кристалите. Използва се главно при мокра керамична процес.

Химичното отлагане на пари (CVD) е най-зрелият и оптимален метод за подготовка за покритие от танталов карбид върху повърхността на графит.

CVD TaC метод за нанасяне на покритие за TaC покрит графитен ток:

Процесът на покритие използва TACL5 и пропилен като източник на въглерод и източник на танталум, и аргон като носител газ, за ​​да внесе изпаряването на пентахлорид в реакцията след газификация с висока температура. При целевата температура и налягане изпаряването на материала на прекурсора се адсорбира върху повърхността на графитната част и се появяват серия от сложни химични реакции като разлагане и комбинация от източник на въглерод и източник на танталум. В същото време се включват серия от повърхностни реакции като дифузия на предшественика и десорбция на странични продукти. Накрая на повърхността на графитната част се образува плътен защитен слой, който предпазва графитната част от стабилна при екстремни условия на околната среда. Сценариите на приложение на графитни материали са значително разширени.

Продуктов параметър на графитния ток с TaC покритие:

Производствени магазини:

Преглед на индустриалната верига на епитаксията на полупроводниковите чипове: