Новини от индустрията

Статията анализира специфичните предизвикателства, пред които е изправен процесът на нанасяне на покритие CVD TaC за растеж на монокристал на SiC по време на обработка на полупроводници, като източник на материал и контрол на чистотата, оптимизиране на параметрите на процеса, адхезия на покритието, поддръжка на оборудването и стабилност на процеса, защита на околната среда и контрол на разходите, като както и съответните индустриални решения.

От гледна точка на приложението на монокристалния растеж на SiC, тази статия сравнява основните физични параметри на TaC покритието и SIC покритието и обяснява основните предимства на TaC покритието пред SiC покритието по отношение на устойчивост на висока температура, силна химическа стабилност, намалени примеси и по-ниски разходи.

Във фабриката FAB има много видове измервателни оборудване. Общото оборудване включва литографско измерване на процеса, оборудване за измерване на процеса на офорт, оборудване за измерване на процеса на отлагане на тънък филм, оборудване за измерване на процеса на допинг, оборудване за измерване на процеса на CMP, оборудване за откриване на частици от вафли и друго оборудване за измерване.

Покритието на карбид Tantalum (TAC) може значително да удължи живота на графитните части чрез подобряване на високата температурна устойчивост, устойчивост на корозия, механични свойства и възможности за управление на термично управление. Характеристиките му с висока чистота намаляват замърсяването на примесите, подобряват качеството на растежа на кристалите и повишават енергийната ефективност. Той е подходящ за приложения за производство на полупроводници и приложения за растеж на кристали във високотемпературна, силно корозивна среда.

Танталум карбид (TAC) покрития се използват широко в полето за полупроводници, главно за компоненти на епитаксиалния реактор на растеж, компоненти на ключовите кристални растежи, високотемпературни индустриални компоненти, нагревателите на MOCVD системи и носители на вафли. Неговото отлично устойчивост на висока температура и устойчивост на коригиране може да подобри изкоребилността на оборудването, добивът и кристалното качество, намаляване на енергията и подобряване на стимулацията.

По време на процеса на растеж на епитаксиалния растеж на SIC може да възникне повреда на графитното окачване с графитно покритие. Този документ провежда строг анализ на явлението отказ на графитно окачване, покрито с SIC, което включва главно два фактора: SIC епитаксиален газ и повреда на SIC покритие.