Новини

С нарастващото търсене на SiC материали в силовата електроника, оптоелектрониката и други области, развитието на SiC монокристална технология за растеж ще се превърне в ключова област на научните и технологични иновации. Като ядрото на оборудването за растеж на монокристали SiC, дизайнът на термично поле ще продължи да получава голямо внимание и задълбочени изследвания.

Чрез непрекъснат технологичен прогрес и задълбочено изследване на механизма, 3C-SIC хетероепитаксиалната технология се очаква да играе по-важна роля в полупроводниковата индустрия и да насърчи развитието на високоефективни електронни устройства.

Пространствено ALD, пространствено изолирано отлагане на атомен слой. Вафлата се движи между различни позиции и е изложена на различни прекурсори на всяка позиция. Фигурата по-долу е сравнение между традиционния ALD и пространствено изолирания ALD.

Наскоро Германският изследователски институт Fraunhofer IISB направи пробив в изследванията и разработването на технология за покритие на карбид Tantalum и разработи разтвор за спрей покритие, който е по -гъвкав и екологичен от разтвора за отлагане на ССЗ и е комерсиализиран.