Новини

Графитен ток с покритие от SiC за ASM не е просто резервна част в системата за епитаксия. Това е критичен за процеса носител, който влияе върху термичната еднородност, чистотата на пластините, издръжливостта на покритието, стабилността на камерата и дългосрочните производствени разходи.

CVD TaC Coating Cover не е просто защитен капак или графитен компонент с покритие. При високотемпературни полупроводникови процеси това може да повлияе на чистотата на камерата, термичната стабилност, експлоатационния живот на частите и последователността на процеса.

При производството на PECVD много проблеми с покритието и отлагането не започват с плазмена мощност или газохимия. Те започват с носача, който държи вафлите.