Aixtron G5+ компонент на тавана

Галий нитрид (GAN) е широк полупроводник на лентата с отлични физически свойства като висока мобилност на електрон, електрическо поле с висока повреда и висока скорост на насищане. Той се използва широко в оптоелектронни устройства (като светлинни диоди, лазерни диоди) и високочестотни електронни устройства с висока мощност (като усилватели на мощност). Силиций (SI) е често използван материал за полупроводникови субстрат с предимствата на ниската цена, големия размер и съвместимостта със съществуващите интегрални процеси на веригата на базата на силиций. Следователно, отглеждането на GAN епитаксиални слоеве на SI е много ценна изследователска тема. Серията Aixtron G5+ е един от най-горещите оборудване за епитаксиален растеж на GAN, базирана на SI, което има много важни компоненти, а компонентът на тавана е един от важните компоненти.

Компонентът на тавана Aixtron G5+ е изработен от SGL Graphite. Основната функция е да се контролира температурата и да се гарантира най -ниският топлинен поток през вафлата.

 ●Контрол на равномерността на температурата: 

Компонентът на тавана Aixtron G5+ помага за постигане на равномерно разпределение на температурата в цялата реакционна камера. В процеса на растеж на полупроводниковите епитаксиален растеж температурата е от решаващо значение за нарастващите висококачествени епитаксиални слоеве. Той гарантира, че една и съща повърхностна температура може да бъде получена на всички вафли или сателитни компоненти, като по този начин се гарантира консистенцията на скоростта на растеж и качеството на епитаксиалния материал на всички места, като по този начин подобрява добива на процеса.

 ● Оптимизирайте средата за растеж: 

Като част от реакционната камера Aixtron G5+ таванният компонент образува стабилна среда за растеж заедно с други компоненти. Той може да намали загубата на топлина и да направи температурата в реакционната камера по-стабилна, което е благоприятно за точното контролиране на условията за епитаксиален растеж и намаляване на дефектите на епитаксиалния слой и ефективност, причинена от температурните колебания.

Aixtron G5+ таванният компонент е един от основните продукти в индустрията, стартиран от Vetek Semiconductor. Изборът на Vetek Semiconductor означава да си партнирате с компания, ангажирана да прокара границите на иновациите на Silicon Carbide. Със силен акцент върху качеството, производителността и удовлетвореността на клиентите ние доставяме продукти, които не само отговарят, но надвишават строгите изисквания на полупроводниковата индустрия. Нека ви помогнем да постигнете по -голяма ефективност, надеждност и успех във вашите операции с нашите усъвършенствани решения за компоненти на тавана Aixtron G5+.

Материални данни на SGL 6510 Графит:

ПолупроводникAixtron G5+ таванни компоненти Продукти магазини