Новини от индустрията

Кварцовите материали с висока чистота играят жизненоважна роля в производството на полупроводници. Тяхната превъзходна устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия, термична стабилност и пропускливост на светлина ги правят критични консумативи. Кварцовите продукти се използват за компоненти както във високотемпературни, така и в нискотемпературни зони на производство на вафли, осигурявайки стабилност и чистота на производствения процес.

С глобалния енергиен преход, революцията на ИИ и вълната от информационни технологии от ново поколение, силициевият карбид (SiC) бързо напредна от „потенциален материал“ до „стратегически основен материал“ поради изключителните си физически свойства.

При високотемпературни полупроводникови процеси манипулирането, поддържането и термичната обработка на вафлите разчитат на специален поддържащ компонент - лодката за вафли. Тъй като температурите на процеса се повишават и изискванията за чистота и контрол на частиците нарастват, традиционните кварцови вафлени лодки постепенно разкриват проблеми като кратък експлоатационен живот, високи скорости на деформация и слаба устойчивост на корозия.

За промишлено производство на субстрати от силициев карбид успехът на един цикъл на растеж не е крайната цел. Истинското предизвикателство е да се гарантира, че кристалите, отглеждани в различни партиди, инструменти и периоди от време, поддържат високо ниво на последователност и повторяемост на качеството. В този контекст ролята на покритието от танталов карбид (TaC) надхвърля основната защита - то се превръща в ключов фактор за стабилизиране на прозореца на процеса и запазване на добива на продукта.

Растежът на силициев карбид (SiC) PVT включва тежки термични цикли (стайна температура над 2200 ℃). Огромният топлинен стрес, генериран между покритието и графитния субстрат поради несъответствието в коефициентите на топлинно разширение (CTE), е основното предизвикателство, определящо живота на покритието и надеждността на приложението.

В процеса на растеж на кристали от силициев карбид (SiC) PVT, стабилността и еднородността на термичното поле директно определят скоростта на растеж на кристалите, плътността на дефектите и еднородността на материала. Като граница на системата, компонентите на термичното поле проявяват повърхностни термофизични свойства, чиито леки флуктуации се усилват драстично при условия на висока температура, което в крайна сметка води до нестабилност на границата на растеж.