Новини

Статията описва отличните физически свойства на въглеродния филц, специфичните причини за избор на SIC покритие и метод и принцип на SIC покритие върху въглерод. Той също така специфично анализира използването на D8 авансово рентгеново-дифрактометър (XRD), за да анализира фазовия състав на въглеродния филц SIC Coating.

Основните методи за отглеждане на SIC единични кристали са: физически транспорт на пари (PVT), високотемпературно отлагане на химически пари (HTCVD) и растеж на разтвора на висока температура (HTSG).

С развитието на слънчевата фотоволтаична индустрия дифузионната пещи и LPCVD пещите са основното оборудване за производството на слънчеви клетки, които пряко влияят на ефективността на слънчевите клетки. Въз основа на цялостната ефективност на продукта и разходите за използване, керамичните материали на силициевия карбид имат повече предимства в областта на слънчевите клетки, отколкото кварцовите материали. Прилагането на керамични материали от силициев карбид във фотоволтаичната индустрия може значително да помогне на фотоволтаичните предприятия да намалят разходите за инвестиционни материали, да подобрят качеството и конкурентоспособността на продукта. Бъдещата тенденция на керамичните материали от силициев карбид във фотоволтаичното поле е главно към по-висока чистота, по-силен капацитет за носене на товар, по-голям капацитет за натоварване и по-ниска цена.

Статията анализира специфичните предизвикателства, пред които е изправен процесът на нанасяне на покритие CVD TaC за растеж на монокристал на SiC по време на обработка на полупроводници, като източник на материал и контрол на чистотата, оптимизиране на параметрите на процеса, адхезия на покритието, поддръжка на оборудването и стабилност на процеса, защита на околната среда и контрол на разходите, като както и съответните индустриални решения.

От гледна точка на приложението на монокристалния растеж на SiC, тази статия сравнява основните физични параметри на TaC покритието и SIC покритието и обяснява основните предимства на TaC покритието пред SiC покритието по отношение на устойчивост на висока температура, силна химическа стабилност, намалени примеси и по-ниски разходи.

Във фабриката FAB има много видове измервателни оборудване. Общото оборудване включва литографско измерване на процеса, оборудване за измерване на процеса на офорт, оборудване за измерване на процеса на отлагане на тънък филм, оборудване за измерване на процеса на допинг, оборудване за измерване на процеса на CMP, оборудване за откриване на частици от вафли и друго оборудване за измерване.