Новини

Химичното отлагане на пари (CVD) в производството на полупроводници се използва за отлагане на тънкослойни материали в камерата, включително SiO2, SiN и др., а често използваните видове включват PECVD и LPCVD. Чрез регулиране на температурата, налягането и типа на реакционния газ, CVD постига висока чистота, еднородност и добро покритие на филма, за да отговори на различните изисквания на процеса.

Тази статия описва главно широките перспективи за приложение на керамиката на силициев карбид. Той също така се фокусира върху анализа на причините за синтероване на пукнатини в силициевата карбидна керамика и съответните разтвори.

Технологията за ецване в производството на полупроводници често среща проблеми като ефект на натоварване, ефект на микро-бразда и ефект на зареждане, които влияят върху качеството на продукта. Решенията за подобрение включват оптимизиране на плътността на плазмата, регулиране на състава на реакционния газ, подобряване на ефективността на вакуумната система, проектиране на разумно литографско оформление и избор на подходящи материали за ецваща маска и условия на процеса.

Горещото натискане на синтероване е основният метод за приготвяне на високоефективна SIC керамика. Процесът на горещо натискане на синтероване включва: Избор на SIC прах с висока чистота, натискане и формоване под високо температура и високо налягане и след това синтероване. SIC керамиката, приготвена по този метод, имат предимствата на високата чистота и високата плътност и се използват широко при смилане на дискове и оборудване за обработка на топлината за обработка на вафли.

Ключовите методи на растеж на силициев карбид (SIC) включват PVT, TSSG и HTCVD, всеки с различни предимства и предизвикателства. Термично полеви материали на базата на въглерод като изолационни системи, тигели, TAC покрития и порест графит засилват растежа на кристалите, като осигуряват стабилност, топлинна проводимост и чистота, от съществено значение за прецизното производство и приложение на SIC.