Новини

Технологията за ецване в производството на полупроводници често среща проблеми като ефект на натоварване, ефект на микро-бразда и ефект на зареждане, които влияят върху качеството на продукта. Решенията за подобрение включват оптимизиране на плътността на плазмата, регулиране на състава на реакционния газ, подобряване на ефективността на вакуумната система, проектиране на разумно литографско оформление и избор на подходящи материали за ецваща маска и условия на процеса.

Горещото натискане на синтероване е основният метод за приготвяне на високоефективна SIC керамика. Процесът на горещо натискане на синтероване включва: Избор на SIC прах с висока чистота, натискане и формоване под високо температура и високо налягане и след това синтероване. SIC керамиката, приготвена по този метод, имат предимствата на високата чистота и високата плътност и се използват широко при смилане на дискове и оборудване за обработка на топлината за обработка на вафли.

Ключовите методи на растеж на силициев карбид (SIC) включват PVT, TSSG и HTCVD, всеки с различни предимства и предизвикателства. Термично полеви материали на базата на въглерод като изолационни системи, тигели, TAC покрития и порест графит засилват растежа на кристалите, като осигуряват стабилност, топлинна проводимост и чистота, от съществено значение за прецизното производство и приложение на SIC.

SiC има висока твърдост, топлопроводимост и устойчивост на корозия, което го прави идеален за производство на полупроводници. CVD SiC покритието се създава чрез химическо отлагане на пари, осигуряващо висока топлопроводимост, химическа стабилност и съответстваща константа на решетката за епитаксиален растеж. Неговото ниско термично разширение и висока твърдост гарантират издръжливост и прецизност, което го прави от съществено значение в приложения като носители за пластини, пръстени за предварително нагряване и др. VeTek Semiconductor е специализирана в персонализирани SiC покрития за разнообразни индустриални нужди.

Силиконов карбид (SIC) е високо прецизен полупроводник, известен с отличните си свойства като висока температурна устойчивост, устойчивост на корозия и висока механична якост. Той има над 200 кристални структури, като 3c-sic е единственият кубичен тип, предлагащ превъзходна естествена сферичност и уплътняване в сравнение с други видове. 3C-SIC се откроява с високата си електронна мобилност, което го прави идеален за MOSFETs в електрониката на захранването. Освен това, той показва голям потенциал в наноелектрониката, сините светодиоди и сензорите.

Diamond, потенциален „върховен полупроводник от четвърто поколение“, привлича вниманието в полупроводниковите субстрати поради изключителната си твърдост, топлопроводимост и електрически свойства. Въпреки че високите му разходи и предизвикателствата на производството ограничават използването му, CVD е предпочитаният метод. Въпреки допинг и предизвикателствата на кристалите с големи райони, Diamond обещава.