Новини

Тази статия обсъжда главно съответните предимства на процеса и разликите в процеса на епитаксия на молекулярния лъч и метало-органичните технологии за отлагане на химически пари.

Порестият карбид Tantalum на Vetek Semiconductor, като ново поколение растежен материал на SIC Crystal, има много отлични свойства на продукта и играе ключова роля в различни технологии за обработка на полупроводници.

Принципът на работа на епитаксиалната пещ е да депозира полупроводникови материали върху субстрат при висока температура и високо налягане. Силиконов епитаксиален растеж е да се отглежда слой от кристал със същата кристална ориентация като субстрата и различната дебелина върху силициев единичен кристален субстрат с определена кристална ориентация. Тази статия въвежда главно методите за растеж на силициевия епитаксиален растеж: Епитаксията на фазата на парата и течната фаза.

Химичното отлагане на пари (CVD) в производството на полупроводници се използва за отлагане на тънкослойни материали в камерата, включително SiO2, SiN и др., а често използваните видове включват PECVD и LPCVD. Чрез регулиране на температурата, налягането и типа на реакционния газ, CVD постига висока чистота, еднородност и добро покритие на филма, за да отговори на различните изисквания на процеса.