CVD SIC покритие графит пресечен

CVD SIC Coating Graphite Sustceport е специално проектиран за производство с висока точност в полупроводниковата индустрия. Графитният субстрат е покрит с SIC слой с висока чистота чрез процеса на CVD, който има отлична висока температурна съпротивление, устойчивост на корозия и устойчивост на окисляване и може да работи стабилно за дълго време във висока температура и вакуумна среда. Този пиедестал се използва широко в MOCVD, PECVD, PVD и друго оборудване за поддържане на обработката и обработката на вафли и други високоточни материали.

Основни предимства:

● Висока температурна стабилност: Самият графит с висока чистота има отлична термична стабилност. След като е покрит с SIC покритие, той може да издържи с по -висока температура екстремна среда и е подходящ за високотемпературни процеси при обработка на полупроводници.

● Ъгълйонна устойчивост: CVD SIC покритието е устойчиво на корозия на киселина и алкална и може да има дълъг експлоатационен живот в процеса на CVD.

● Високо hустойчивост на арда и окисляване: CVD SIC покритието има отлична твърдост, устойчивост на надраскване и устойчивост на окисляване при високи температури, за да поддържа стабилността на материала.

● Добра термична проводимост: Комбинацията от графитен субстрат и SOSCEPTOR SUCTER SUCPETOR прави основата, която има отлична топлопроводимост, която може ефективно да води топлина и да подобри ефективността на производството.

Спецификации на продукта:

● Материал: Графитен субстрат + CVD SIC покритие

● Дебелина на покритието: Може да се персонализира според нуждите на клиента

● Приложима среда: Висока температура, вакуум, корозивна газова среда

Персонализирана услуга:

Ние предоставяме високо персонализирани услуги, за да отговорим на нуждите на различното оборудване и процеси на клиентите. Според специфичното приложение на клиента, могат да се осигурят графитни основи с различни дебелини на покритието, повърхностни обработки и нива на прецизност.

Veteksemi винаги е работил в индустрията за покритие на CVD силициев карбид и има водещо в индустрията CVD SIC покритие на графитна основа за производство и производство на производство. Ако имате нужда от повече информация за продукта или персонализирани услуги, моля, свържете се с Vetek Semiconductor, ние от все сърце ще ви предоставим професионална поддръжка.

SEM Данни за CVD SIC филмов кристална структура:

ПолупроводникCVD SIC покритие Графит SOUDCEPTOR PUDDOTS: