SiC покрит Epi рецептор

Можете да бъдете спокойни, че ще закупите SiC Coated Epi Susceptor от нашата фабрика.

Vetek Semiconductor SIC покритие EPI Sustceport е епитаксиален цев е специален инструмент за процеса на епитаксиален растеж на полупроводниковия епитаксиален растеж с много предимства:

● Ефективен производствен капацитет: SEC SEC -SECPETOR на Vetek Semiconductor може да побере множество вафли, което прави възможно едновременно да се извърши епитаксиален растеж на множество вафли. Този ефективен производствен капацитет може значително да подобри ефективността на производството и да намали производствените цикли и разходи.

● Оптимизиран контрол на температурата: SiC Coated Epi Susceptor е оборудван с усъвършенствана система за контрол на температурата за прецизен контрол и поддържане на желаната температура на растеж. Стабилният температурен контрол помага за постигане на равномерен растеж на епитаксиалния слой и подобряване на качеството и консистенцията на епитаксиалния слой.

● Еднообразно разпределение на атмосферата: SiC Coated Epi Susceptor осигурява равномерно разпределение на атмосферата по време на растеж, като гарантира, че всяка пластина е изложена на едни и същи атмосферни условия. Това помага да се избегнат разликите в растежа между пластините и подобрява еднородността на епитаксиалния слой.

● Ефективен контрол на примесите: Дизайнът на Epi Susceptor с SiC покритие спомага за намаляване на въвеждането и дифузията на примеси. Може да осигури добро запечатване и контрол на атмосферата, да намали влиянието на примесите върху качеството на епитаксиалния слой и по този начин да подобри производителността и надеждността на устройството.

● Гъвкаво развитие на процесите: Epi Susceptor има гъвкави възможности за разработка на процеси, които позволяват бързо регулиране и оптимизиране на параметрите на растеж. Това позволява на изследователите и инженерите да провеждат бързо разработване и оптимизиране на процеси, за да отговорят на нуждите от епитаксиален растеж на различни приложения и изисквания.