Кварцова вафлена лодка с висока чистота

Кварцовата вафтова лодка с висока чистота на Vetek Semiconductor е направена от ултрависилна чистота кварц, който има характеристики на ниско съдържание на хидроксил, висока чистота и силна висока температурна устойчивост. Този материал също се използва широко в полупроводниковата индустрия като материал за дифузионни пещи и компоненти на пещта на ССЗ. Като контейнер за носене на силициеви вафли, кварцовата лодска вафла с висока чистота се използва в полупроводници, фотоволтаични, химически и други полета.

Сценарии на кандидатстване

Първо е полето на полупроводниците. Процесът на топлинна обработка на вафлите е много важен, включително термично окисление, дифузия, отгряване и т.н. Чрез процеса на топлинна обработка ние придаваме на вафлите нови характеристики.

Партидните основни тръби на пещта се използват за процеси на обработка на вафли за полупроводници, като термично окисляване, дифузия на висока температура, отгряване и отлагане на тънък филм. Партидната отоплителна пещ се използва главно за загряване на тялото на пещта чрез намотки за завършване на топлинната обработка. Според различните работни структури, пакетните основни тръби могат да бъдат разделени на хоризонтални пещи и вертикални пещи:

(1) Кварцовата вафтова лодка с висока чистота на хоризонталната пещ се поставя хоризонтално, така че се нарича хоризонтална пещ.

В процеса на обработка на топлината вафлата се зарежда на лодката с висока чистота с висока чистота, бавно изпращана в кварцовата пещ, а вафлата се поставя в зона с постоянна температура за обработка. След като изчака процеса да бъде завършен, използваната от вафла кварцова лодка бавно се изважда от кварцовата пещ, за да се предотврати повредата на вафлата поради внезапни температурни промени. Хоризонталните пещи се използват широко в процеса на дифузия на интегрални вериги с диаметри на вафли под 200 мм. 

Предимствата на хоризонталните пещи са прост процес, добра равномерност между вафли и способността за обработка на множество вафли едновременно. Недостатъците са бавна скорост на нагряване, голям размер на оборудването, трудност при автоматизацията и лесно влизане на външен въздух при зареждане и разтоварване на вафли.

(2) Кварцовата вафтова лодка с висока чистота на вертикалната пещ се поставя вертикално, така че се нарича вертикална пещ.

Вафлата се зарежда в кварцовата кула и бавно се издига до тръбата на кварцовата пещ за нагряване. По време на процеса на нагряване лодката за вафли от кварц с висока чистота ще се върти бавно, за да гарантира, че вафлата се нагрява равномерно. След обработката кварцовата кула бавно ще се спусне, за да се избегнат температурни промени, които могат да причинят повреда на пластината. Вертикалните пещи се използват главно в процеса на интегрални схеми на пластини с диаметър 200 mm и 300 mm. Основната технология на вертикалните пещи се състои във високо прецизен контрол на температурното поле, контрол на частиците, контрол на микрокислорода в микросредата и моторизация. Предимствата на вертикалните пещи са тънък естествен оксиден слой, добра равномерност, по-лесна автоматизация, малък отпечатък на оборудването и партидна обработка. Недостатъкът е, че скоростта на нагряване е ниска.

Във фотоволтаичното поле производственият процес на фотоволтаични клетки изисква кварцови лодки за пренасяне и транспортиране на силициеви вафли в процеса на дифузия с висока температура. Лечението с висока температура в азот с висока чистота, кислород или друга инертна газова атмосфера, като фосфорна дифузия или дифузия на бор, е важна стъпка в производствения процес на слънчевите клетки. Целта е да се образува PN възел на силиконовата вафла.

Кварцовата лодка има прецизно проектирани слотове вътре, за да гарантира, че силиконовата пластина поддържа точната позиция по време на процеса на високотемпературна дифузия и е равномерно нагрята. Тъй като кварцовият материал има добра устойчивост на висока температура и химическа стабилност, той няма да замърси силиконовата пластина, което е благоприятно за поддържане на висока чистота на производствената среда.

Като иноватор и лидер на китайския пазар на използвани кварцови лодки за вафли, независимо дали сте ангажирани в полупроводниковата или фотоволтаичната индустрия, стига да имате нужда от кварцова лодка с висока чистота, моля, попитайте ни за оферта и ние ще можем да ви приспособим за вас според вашите нужди.

Полупроводник продуктови магазини: