Услуга за почистване на графитни части с CVD SiC покритие

1. Предизвикателства, пред които може да се изправите

• Труден за премахване слой AlN:1300°C термично почистване все още не може ефективно да ецва остатъчния слой AlN.

• Повтарящ се ефект на паметта:Ефектът на паметта на повърхността причинява нестабилен газов поток в реактора, което оказва влияние върху последователността на процеса.

• Цикъл на почистване Impacts пропускателна способност:Обикновено на всеки 16 технологични цикъла (4–5 приемника) е необходимо външно почистване.

• Загриженост относно повреждането на скъпото покритие:Липсата на вътрешен опит в химическото почистване кара операторите да се колебаят да опитат агресивно почистване.

2. Нашето решение – проектирано за GaN / AlN / AlGaN процеси

• Професионално почистване:Персонализиран процес, специално разработен за графитни части с CVD SiC покритие. Не се изисква химическа формула от клиента.

• Безопасност на покритието:Строго защитава 100 µm CVD SiC покритие. Абсолютна нулева загуба на дебелина след почистване.

• Проверими резултати:Пълен сертификат за анализ (COA), покриващ пет основни измерения. Готови данни за архивиране и одит на качеството.

3. Пет основни критерия за приемане

Строго съобразени с критичните изисквания на потребителите на полупроводникова епитаксия:

1. Нулева загуба на покритие– Дебелината на SiC покритието никога не се намалява след почистване (проверка на сравнение на дебелината преди/след).

2. Няма повърхностна деформация– Плоскостта и геометричната точност се проверяват стриктно, за да се гарантира липса на физическа деформация.

3. Елиминирайте ефекта на паметта– XPS анализът за остатъци от Al/Ga потвърждава пълното премахване на източниците на ефект на паметта.

4. Нулев метален остатък– ICP-MS тестване за Fe, Cu, Ni и други метали потвърждава нулевите остатъчни метални примеси.

5. Без излишни частици– QIII тест за частици плюс проверка за чистота предотвратява нестабилността на газовия поток, причинена от остатъчни частици.

4. Проверка на доставката и доклад за сертификат за автентичност

Всяка партида се доставя с пълни данни за проверка в пет основни измерения:

5. Приложими продукти и предистория на процеса

Параметри на продукта

Процес на обслужване

1. Запитване– Изпратете снимки на части / модел / количество за оценка.

2. Цитат– Техническа оценка и предложение за детайлно почистване с оферта.

3. Доставка– Изпратете части до нас или организирайте услуга за получаване.

4. Почистване– Професионално почистване + пълен многоизмерен оглед.

5. Докладвайте– Издаден сертификат за автентичност и върнати почистени части.

6. Последващи действия– Проследяване на ефекта и текуща техническа поддръжка.

6. Защо да изберете почистваща услуга VETEK?

VETEK съчетава задълбочен опит в CVD SiC технологията за покритие със специализирани почистващи възможности за графитни фиксатори с висока стойност. Ние разбираме критичното значение на целостта на покритието, контрола на частиците и чистотата на процеса при GaN/AlN епитаксия. Нашата услуга е предназначена за клиенти, които се нуждаят от абсолютна безопасност за скъпи CVD SiC покрития, като същевременно напълно разрешават проблемите с ефекта на паметта и нестабилността на газовия поток.

· Предлага се пробно почистване за проверка на малки партиди

· Пълен отчет за COA, предоставен с всяка доставка

· Нулев риск от увреждане на покритието или ново замърсяване

· Професионален · Безопасен · Проверим