Фокусен пръстен за офорт

Монокристалните силиконови ецуващи пръстени са основни компоненти в процесите на полупроводниково ецване чрез поддържане на стабилността на плазмената среда, защита на оборудването и вафли, оптимизиране на използването на ресурсите и адаптиране към напредналите изисквания на процеса. Производителността му влияе пряко върху добива и цената на производството на чипове.

Оцененият фокус пръстен, електрод и др. (Контролер на ръба на температурата) са основните консумативи, за да се гарантира плазмената равномерност, контрол на температурата и повторяемост на процеса. Тези компоненти са точно сглобени във вакуумната камера на CVD, офорт и филмово оборудване и директно определят точността и добива на офорта от ръба до центъра на вафлата.

В отговор на строгото търсене на материални свойства в производствените процеси от висок клас, Veteksemi Innovates, като използва монокристален силиций с висока чист с съпротивление 10-20Ω · cm за производство на фокусирани пръстени и поддържащи консумативи. Чрез съвместна оптимизация на материалните науки, електрическия дизайн и термодинамиката, Veteksemi е в състояние да произвежда фокусирани пръстени и да поддържа консумативи. Изчерпателно надминават традиционните кварцови решения за постигане на пробивни подобрения в дълголетието, точността и ефективността на разходите.

Сравнение на основните материали и оптимизация на съпротивлението

Монокристален силиций Vs. Кварц

Основно предимство на продуктаe

1. Точност на процеса на атомно ниво

Оптимизацията на съпротивлението + ултра прецизно полиране (RA <0,1 μm) елиминира замърсяването на микроразряда и частиците, за да отговаря на Semi F47 стандарти.

Диелектричната загуба (TANΔ <0,001) е силно съпоставена с диелектричната среда на вафли, като избягва изкривяването на крайното електрическо поле и поддържа 3D NAND 89,5 ° ± 0,3 ° вертикално офорт на дълбока дупка.

2. Интелигентна съвместимост на системата

Интегриран с модула за контрол на температурата на ETC, охлаждащият въздушен поток се регулира динамично от алгоритъма на термодвойката и AI, за да компенсира термичния дрейф на камерата.

Поддържайте персонализирана мрежа за съвпадение на RF, подходяща за основни машини като AMAT CENTURA, LAM Research KIYO и ICP/CCP плазмени източници.

3. Изчерпателна ефективност на разходите

Животът на монокристален силиций е 275% по -дълъг от този на кварца, цикълът на поддържане е повече от 3000 часа, а цялостната цена на собственост (TCO) е намалена с 30%.

Услуга за персонализиране на градиент на съпротивление (5-100Ω · cm), точно съвпадение на прозореца на клиентския процес (като GAN/SIC широка лента за офорт на празнината).

Ефектът от съпротивлението

Продуктни търговски термини

Минимално количество поръчка	1 комплект
Цена	Контакт за персонализирана оферта
Подробности за опаковката	Стандартен пакет за експортиране
Срок на доставка	Време за доставка: 30-35 дни след потвърждение на поръчката
Условия за плащане	T/t
Възможност за доставка	600 комплекта/месец