Новини

Кварцовата лодка е ключов компонент, носещ натоварване, използван в процеса на производство на полупроводникови. Използва се главно за обработка на високи температури на вафли, като дифузия, окисляване и отгряване. Отличната му термична стабилност, ниските характеристики на замърсяването и устойчивостта на корозия го правят незаменим материал в полупроводниковата индустрия. Тази статия ще разработи материалите, физическите свойства, класификацията, сценариите на приложение на кварцовата лодка и нейните различия от PECVD графитната лодка.

Основният материал на PECVD графитната лодка е изотропният графитен материал с висока чистота (чистотата обикновено е ≥99.999%), който има отлична електрическа проводимост, топлопроводимост и плътност. В сравнение с обикновените графитни лодки, PECVD графитните лодки имат много предимства на физическите и химичните имоти и се използват главно в полупроводниковите и фотоволтаичните индустрии, особено в процесите на PECVD и CVD.

Графитните тави на MOCVD играят важна роля в епитаксиалния процес. Тази статия прави подробен анализ на подбора на графитни тави на MOCVD от гледна точка на свойствата на материала и сценариите на приложение.