Графитен пръстен с покритие от порест танталов карбид (TaC).

Характеристики на продукта

• Основно оборудване:Предназначен за SiC пещи за растеж на монокристали, които работят с PVT технология.
• Основно приложение:Подходящ за системи с термично поле при растеж на кристали SiC от трето поколение полупроводници.
• Стабилност при висока температура:Покритието TaC запазва структурната цялост при свръхвисоки температури, поддържайки продължителна работа в взискателни топлинни среди.
• Защита от корозия:Плътният CVD TaC слой предпазва графитния субстрат от силициеви пари, въглерод-съдържащи газове и други корозивни видове, срещани по време на растежа на SiC.
• Производителност на термичното поле:Порестата графитна основа подпомага разпределението на топлината и преноса на парите, което спомага за поддържането на стабилни условия на растеж.
• Ниско замърсяване:Изходните материали с висока чистота и плътното покритие ограничават отделянето на примеси и отделянето на частици, благоприятствайки качеството на кристалите.
• Удължен живот:Слоят TaC подобрява устойчивостта на окисляване, твърдостта на повърхността и цялостната издръжливост при повишени температури.
• Адхезия на покритието:CVD процесът създава силна връзка между TaC филма и графитния субстрат.
• Персонализирани опции:Размерите, структурните детайли и спецификациите на покритието могат да бъдат коригирани, за да отговарят на различните изисквания на пещта за растеж на SiC.

Технически спецификации

Приложения

Графитният пръстен с порест TaC покритие на VETEK се използва предимно в:

• SiC монокристален растеж чрез PVT
• Производство на полупроводници от трето поколение
• Производство на SiC субстрат
• Системи с термично поле в пещи за растеж на кристали
• Високотемпературна обработка на полупроводници
• Усъвършенствани графитни компоненти за гореща зона

ЧЗВ

1. Какво представлява графитен пръстен с порест TaC покритие?

Това е компонент на термично поле за пещи за растеж на кристали SiC. Той съчетава пореста графитна структура с CVD TaC покритие, за да осигури термично управление и защита срещу високотемпературна корозия.

2. Защо да използвате TaC покритие за растеж на кристали SiC?

TaC осигурява стабилност при висока температура и химическа устойчивост. Той предпазва графита от атаката на силициевите пари и помага за поддържането на чиста, стабилна среда за растеж.

3. Какво предлага структурата на порестия графит?

Порестият дизайн поддържа топлинното разпределение и транспортирането на газ в пещта, което допринася за стабилни условия за растеж на кристали SiC.

4. Може ли VETEK да произвежда персонализирани графитни пръстени с TaC покритие?

да VETEK предлага персонализиране въз основа на чертежи на клиента, проекти на пещи и нужди на процеса, включително размери, конфигурация на субстрата и параметри на покритието.