Пръстен за фокусиране от твърд SiC

6. Основни области на приложение

7. Предимства на сърцевината на твърд SiC фокус пръстен

Отлична устойчивост на плазмена корозия

При продължително излагане на силно корозивна плазма с висока плътност като CF4, O2 и Cl2, конвенционалните материали са податливи на бързо износване и замърсяване с частици. Нашият фокусиращ пръстен от твърд SiC показва отлична устойчивост на корозия, със степен на корозия, много по-ниска от тази на материали като кварц или алуминиев оксид. Това означава, че поддържа гладка повърхност с течение на времето, като значително намалява риска от дефекти на пластини, причинени от износване на компоненти, осигурявайки непрекъснато и стабилно масово производство.

Отлична стабилност при висока температура и управление на топлината

Процесът на ецване на полупроводници генерира значителна топлина, което кара компонентите на камерата да изпитват драматични температурни колебания. Нашите фокусни пръстени имат изключително нисък коефициент на топлинно разширение, способни да издържат на преходни температури до 1600°C без напукване или деформация. Освен това присъщата им висока топлопроводимост спомага за равномерното и бързо разпръскване на топлината, като ефективно подобрява разпределението на температурата по ръба на пластината, като по този начин подобряваng равномерност на ецване и последователност на критичните размери по цялата пластина.

Изключителна чистота на материала и структурна плътност

Ние стриктно контролираме чистотата на суровините от силициев карбид (≥99,999%) и елиминираме металното замърсяване по време на процеса на синтероване, за да отговорим на строгите изисквания на усъвършенстваните производствени процеси за контрол на следи от примеси. Плътната структура, образувана чрез високотемпературно синтероване, има изключително ниска порьозност, почти напълно блокираща проникването на технологични газове и странични продукти. Това предотвратява влошаване на производителността и растеж на частици, причинени от вътрешна деградация на материала, осигурявайки чиста среда на процесната камера.

Дълготраен механичен живот и цялостна рентабилност

В сравнение с конвенционалните консумативи, които изискват честа смяна, фокусните пръстени Veteksemi от твърд SiC предлагат изключителна издръжливост. Те поддържат стабилна производителност през целия си експлоатационен живот, удължавайки цикъла на подмяна няколко пъти. Това не само директно намалява разходите за доставка на резервни части, но също така значително подобрява използването на машината чрез намаляване на времето за престой на оборудването за поддръжка, което води до значителни общи предимства в разходите за клиентите.

Прецизен контрол на размера и гъвкави услуги за персонализиране

Ние разбираме точните изисквания на различните машини и процеси за консумативи. Всеки пръстен за фокусиране се подлага на прецизна машинна обработка и стриктно тестване, за да се осигурят критични толеранси на размерите в рамките на ±0,05 mm. Ние също така предлагаме персонализирани услуги, включително персонализирани размери, повърхностни покрития (полиране до Ra ≤ 0,2 μm) и корекции на проводимостта, за да отговарят идеално на вашите специфични изисквания за процес и сценарии на приложение.

За подробни технически спецификации, бели документи или примерни условия за тестване, моля, свържете се с нашия екип за техническа поддръжка, за да проучите как Veteksemi може да подобри ефективността на вашия процес.