Керамичен електростатичен патронник от алуминиев нитрид (AlN).

1.Предимства

• Високочиста AlN керамика с топлопроводимост до ~180 W/m·K за ефективен топлопренос и равномерност на температурата

• Силна електрическа изолация и високо обемно съпротивление, поддържащо стабилно затягане при 1–3 kV (налични са по-високи напрежения)

• Персонализирани материали за диелектрични слоеве и оформления на електродите: Coulomb или Johnsen–Rahbek (JR); едно- или многозонови

• Бързо затягане и декламиране, обикновено под 0,1 секунда

• Микроструктури на повърхностни трапчинки до ~300 μm диаметър, намалявайки контактната площ до ~1%

• Висока способност за плоскост; типична глобална плоскост от порядъка на 0,5–3 μm PV за платформи от клас 300 mm

• Плътна микроструктура с почти нулева водопоглъщаемост и добра химическа устойчивост за производствени среди

2.Типични приложения

Керамичните електростатични патронници от алуминиев нитрид се използват в етапи на процеса, които изискват както сигурно задържане на пластини, така и контролирано термично поведение:

• Сухо плазмено ецване (ICP / RIE) и свързани камерни процеси

• CVD, PEALD, термично ALD и други етапи на отлагане на тънък слой

• Модули за отгряване и термичен процес, изискващи равномерна температура на пластините

• Етапи на инспекция, метрология и прецизност, при които ниските частици и стабилното затягане са критични

3.Класове на AlN материали – типични свойства

VeTek предлага множество класове алуминиев нитрид, за да балансира топлопроводимостта, механичната якост и цената за ESC дизайни:

Единици: Топлопроводимост във W/(m·K); диелектрична якост в kV/mm; обемно съпротивление в Ω·cm (25 °C); диелектрична константа при 1 MHz. Стойностите са типични и могат да варират в зависимост от процеса и геометрията на детайла.

4.Типични параметри на дизайна на ESC

5.Защо Chooдали VeTek AlN електростатични патронници?

VeTek Semiconductor интегрира усъвършенствана AlN керамика с прецизно производство на ESC за клиенти на полупроводници, които се нуждаят както от топлинна производителност, така и от надеждно затягане:

• Множество класове AlN с топлопроводимост от ~90 до ~180 W/m·K, за да отговарят на топлинните бюджети на процеса

• Гъвкав електрод и диелектричен дизайн за Coulomb или JR поведение при затягане

• Строг контрол на плоскостта, микроструктурата на повърхността и електрическата изолация

• Пълна поддръжка през жизнения цикъл: проектиране, ново изграждане и обновяване на няколко нива

За ецване, отлагане и термични инструменти, които зависят от еднаква температура на пластината и чисто, повтарящо се затягане, керамичните електростатични патронници от алуминиев нитрид VeTek осигуряват високопроизводителна керамична платформа, подкрепена от инженерна поддръжка, фокусирана върху приложението.