Ръководство за избор

Избирането на правилния CVD SiC, TaC покритие или Solid SiC директно определя нивата на частиците и живота на компонентите върху линиите за епитаксия/ецване. Тази статия предоставя ясни граници за избор по температура, атмосфера и процес, съчетани с основни решения за подмяна на оборудване и ключови показатели, за да ви помогне да вземате бързи решения и да намалите риска.