Кварцов тигел с висока чистота

Кварцният тигел с висока чистота, осигурен от платформата Veteksemicon, са направени от ултра-висока чистота синтетична конструкция на кварц. Съдържанието на SiO2 в избраните кварцови суровини обикновено може да достигне 99,998% или дори по -високо (4N8). Чрез усъвършенствани процеси на топене и формоване, съдържанието на примеси се свежда до минимум, особено металните йони (като Na, K, Li, Fe, Al, Ca и т.н.) и съдържание на хидроксил, които са вредни за полупроводниковите процеси.

Този кварцов тигел е предназначен за работа във високотемпературни среди, за да се гарантира ниско замърсяване, висока якост и добра съвместимост с растежа на кристалите и обработката на вафли.

Ⅰ. Основни приложения в производствените процеси на полупроводници

Кварцовите тигели с висока чистота играят жизненоважна роля в много ключови процеси за производство на полупроводници с техните уникални физични свойства:

1. Ръст на силиций от единичен кристален силиций (Процес на Czochralski - CZ)

Употреба: В процеса на растеж на силициев силиций с единични кристали по метода Czochralski, кварцовите тигели с висока чистота са основните контейнери за разтопен силиций. Качеството и чистотата на силициевите пръти са пряко засегнати от тигела.

Отлични физически свойства:

● Ултра-висока чистота: Изработена от кварцов материал с висока чистота, тя осигурява изключително ниски валежи за примеси и избягва замърсяването на единичен кристален силиций, което е от решаващо значение за производството на високо интегрирани и високоефективни полупроводникови устройства. Примеси като алкални метали и тежки метали могат да се превърнат в капани на носители или центрове за разсейване, като сериозно влияят на електрическите свойства на устройството.

● Отлично устойчивост на висока температура: Кварцовият материал има висока точка на топене (около 1700 ∘c), може да издържи на изключително високата температура на разтопения силиций (около 1420 ∘C) и да работи стабилно за дълго време без деформация или омекотяване.

● Добра термична стабилност: При високи температури коефициентът на термично разширяване е изключително нисък, което може ефективно да устои на топлинното напрежение и да избегне напукване по време на отопление и охлаждане, като по този начин гарантира стабилността и безопасността на процеса.

● Химическа инертност: Той има добра химическа инертност към разтопения силиций, не е лесно да се реагира със силиций, намалява въвеждането на примеси и карбонизация на силиций и гарантира чистотата на силициевите кристали.

2. Поликристално леене на силиций

Приложение: В процеса на леене на поликристален силиций, кварцови тигели с висока чистота се използват като контейнери за разтопен поликристален силиций за отливане на фотоволтаичен или електронен клас поликристални силиконови блокове.

Отлични физически свойства:

● Устойчивост на термичен удар: Тя може да поддържа структурната цялост дори при бързи цикли на нагряване и охлаждане, за да се избегне напукване, причинено от внезапни температурни промени.

● Стабилност на размерите: Точният контрол на размерите и стабилността на формата са от съществено значение за леене на поликристални силиконови блокове, които отговарят на изискванията за спецификация.

3. Други приложения с висока температура

Употреба: В производството на полупроводници много процеси на пещ с висока температура, като дифузия, окисляване, отгряване и др., Често използват кварцови контейнери като облицовки или носители, за да поддържат обработващата среда чиста и стабилна.

Ⅱ. Предимства на кварцовия тигел на Veteksemicon с висока чистота

Veteksemicon се ангажира да предоставя висококачествени, високоефективни продукти за полупроводниковата индустрия. Нашият кварц за висока чистота има следните предимства:

● Ултра-висока гаранция за чистота: Строг контрол на суровините и производствените процеси, за да се гарантира, че продуктът достига до полупроводниково ултрависока чистота и минимизира риска от замърсяване на процеса.

● Отлична издръжливост: Отлична термична стабилност и механична якост, удължаване на живота на продукта и намаляване на производствените разходи.

● Персонализирана услуга: Персонализирани тигелни решения с различни размери, форми и спецификации могат да бъдат предоставени според вашите специфични нужди на процеса.

Склад на Veteksemicon Products