Sic покритие E-Chuck

Тъй като галиев нитрид (GAN) се превръща в основния материал на полупроводника от трето поколение, приложенията му във високочестотни, високомощни и оптоелектронни полета продължават да се разширяват, като например 5G базови станции, модули за електроенергия и LED устройства. Въпреки това, при производството на полупроводници, особено в процеса на офорт, вафлите трябва да бъдат подложени на висока температура, висока химическа корозионна среда и изключително високи изисквания на процеса на процеса, които излагат изключително високи технически стандарти за инструменти за лагери на вафли.

Ceramic Palets на Vetek Semiconductor са предназначени за ецване на вафли за ган и предлагат висока чистота, отлична топлина и химическа устойчивост, за да поддържат вашия производствен процес. Подходящ е за процеса на плазмено офорт (ICP/RIE) и е идеален избор в съвременното оборудване за производство на полупроводници.

Основни силни страни

1. Висока чистота SIC керамичен материал

Химическа стабилност: Чистотата на материала е повече от 99,5%и няма замърсяване на вафла GAN.

Висока твърдост и устойчивост на износване: Твърдостта, близка до диаманта, способна да издържа на високочестотна употреба, невидими промени и драскотини.

2. Отлични топлинни показатели

Висока топлопроводимост, коефициент на GAN, съответстващ на термичното разширение (CTE): Намаляване на риска от напукване на вафли в процеса на ецване.

3. Супер химическа устойчивост на корозия

Той може да работи във висока концентрация на флуорид, хлорид и друга корозивна газова среда за дълго време.

4. Прецизен дизайн и обработка

Грубостта на повърхността и плоскостта гарантират гладкото поставяне на вафли и офортната еднаквост, за да се отговори на изискванията на високите прецизни процеси.

Размерите, канали, фиксирани дупки и други структури могат да бъдат персонализирани според изискванията на клиента.

Поле на приложението за електронно покритие SIC

● Плазмено офорт (ICP/RIE)

Той осигурява фиксиране и поддръжка на вафли във висока температура и висока химическа корозионна среда, подходяща за ецване на процеса на GAN, SIC и други материали.

● Прехвърляне и съхранение на вафли

Осигурете изключително плоска и без замърсяване платформа за защита на безопасността на вафлата в производствения процес.

Персонализирани услуги

Полупроводникпредлага персонализирани услуги, за да отговори на вашите специфични нужди на процеса:

● Персонализиране на размера: Размерът на палета може да бъде персонализиран според размера на вафлата (Ø4 ~ 12 инча).

● Оптимизация на структурата: Поддръжка на жлеб, отвор за позициониране, фиксирана точка и друга персонализиране на структурата.

ПолупроводникМагазини за продукти с електронни продукти SIC: