Покритие от силициев карбид

VeTek Semiconductor е специализирана в производството на продукти с изключително чисто покритие от силициев карбид, тези покрития са предназначени за нанасяне върху пречистен графит, керамика и огнеупорни метални компоненти.

Нашите покрития с висока чистота са предназначени предимно за използване в полупроводниковата и електронната промишленост. Те служат като защитен слой за носители на пластини, фиксатори и нагревателни елементи, като ги предпазват от корозивни и реактивни среди, срещащи се в процеси като MOCVD и EPI. Тези процеси са неразделна част от обработката на пластини и производството на устройства. Освен това, нашите покрития са много подходящи за приложения във вакуумни пещи и нагряване на проби, където се срещат среди с висок вакуум, реактивни и кислородни среди.

Във VeTek Semiconductor ние предлагаме цялостно решение с нашите усъвършенствани възможности за машинен цех. Това ни позволява да произвеждаме базовите компоненти с помощта на графит, керамика или огнеупорни метали и да нанасяме вътрешни SiC или TaC керамични покрития. Ние също така предоставяме услуги за нанасяне на покрития на части, доставени от клиента, като гарантираме гъвкавост за посрещане на различни нужди.

Нашите продукти със силициево-карбидно покритие се използват широко в Si епитаксия, SiC епитаксия, MOCVD система, RTP/RTA процес, процес на ецване, процес на ецване ICP/PSS, процес на различни типове LED, включително сини и зелени LED, UV LED и дълбоки UV LED и т.н., който е адаптиран към оборудване от LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI и т.н.

Реакторни части, които можем да направим:

Покритието от силициев карбид има няколко уникални предимства:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Параметър на покритие от силициев карбид на VeTek Semiconductor

Основни физични свойства на CVD SiC покритие
Собственост	Типична стойност
Кристална структура	FCC β фаза поликристална, предимно (111) ориентирана
SiC покритие Плътност	3,21 g/cm³
SiC покритие Твърдост	2500 твърдост по Викерс（500g натоварване）
Размер на зърното	2~10 μm
Химическа чистота	99,99995%
Топлинен капацитет	640 J·kg^-1·К^-1
Температура на сублимация	2700 ℃
Якост на огъване	415 MPa RT 4-точков
Модулът на Йънг	430 Gpa 4pt огъване, 1300 ℃
Топлопроводимост	300W·m^-1·К^-1
Термично разширение (CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC ФИЛМ КРИСТАЛНА СТРУКТУРА

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Токоприемник Epi с покритие от силициев карбид Носител за пластини с покритие SiC Сателитно покритие с SiC покритие за MOCVD CVD SiC покритие Wafer Epi Susceptor Нагревателен елемент с CVD SiC покритие Aixtron Satellite носител на пластини SiC покритие Epi приемник SiC покритие полумесец графит части

View as

8 -инчов полуменя част за LPE реактор

VeTek Semiconductor е водещ производител на полупроводниково оборудване в Китай, фокусиран върху научноизследователската и развойната дейност и производството на 8-инчова част Halfmoon за LPE реактор. Ние сме натрупали богат опит през годините, особено в SiC материалите за покритие, и се ангажираме да предоставяме ефективни решения, пригодени за LPE епитаксиални реактори. Нашата 8-инчова част Halfmoon за LPE реактор има отлична производителност и съвместимост и е незаменим ключов компонент в епитаксиалното производство. Приветстваме вашето запитване, за да научите повече за нашите продукти.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

SIC покритие с палачинки за LPE PE3061S 6 '' вафли

SIC покритие с палачинки за LPE PE3061S 6 '' вафли е един от основните компоненти, използвани в 6 '' епитаксиална обработка на вафли. В момента Vetek Semiconductor е водещ производител и доставчик на SIC покритие с палачинка за палачинки за LPE PE3061S 6 '' '' '' '' '' '' '' '' '' вафли в Китай. Предоставящият палачинка SIC, който предоставя, има отлични характеристики като висока устойчивост на корозия, добра топлопроводимост и добра равномерност. Очакваме с нетърпение вашето запитване.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Поддръжка на SIC покритие за LPE PE2061S

Vetek Semiconductor е водещ производител и доставчик на графитни компоненти с покритие SIC в Китай. Поддръжката на SIC покритие за LPE PE2061S е подходяща за LPE силиконов епитаксиален реактор. Като дъното на базата на цевта, поддръжката на SIC покритие за LPE PE2061 може да издържи високи температури от 1600 градуса по Целзий, като по този начин постига ултра дълъг живот на продукта и намалява разходите за клиенти. Очакваме с нетърпение вашето запитване и допълнителна комуникация.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Горна плоча с SiC покритие за LPE PE2061S

Vetek Semiconductor се занимава дълбоко в продуктите на SIC Coating от много години и се превърна в водещ производител и доставчик на горната плоча SIC покритие за LPE PE2061s в Китай. Горната плоча с покритие SIC за LPE PE2061, която предоставяме, е проектирана за LPE силиконов епитаксиални реактори и се намира в горната част, заедно с основата на цевта. Тази горна плоча с покритие от SIC за LPE PE2061S има отлични характеристики като висока чистота, отлична термична стабилност и равномерност, което спомага за растежа на висококачествени епитаксиални слоеве. Без значение от какъв продукт се нуждаете, очакваме с нетърпение вашето запитване.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

SiC покритие барел фиксатор за LPE PE2061S

Като един от водещите производители на вафли за производство на вафли в Китай, полупроводник Vetek постигна непрекъснат напредък в продуктите на вафли и се превърна в първи избор за много производители на епитаксиални вафли. Предоставящият се барел на SIC за LPE PE2061, осигурен от полупроводника на Vetek, е проектиран за LPE PE2061S 4 '' вафли. Сондаторът има трайно покритие от силициев карбид, което подобрява производителността и издръжливостта по време на LPE (течна фазова епитаксия). Добре дошли вашето запитване, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Душ глава от твърд SiC газ

Твърдата SiC газова душ глава играе основна роля в уеднаквяването на газа в CVD процеса, като по този начин осигурява равномерно нагряване на субстрата. VeTek Semiconductor е дълбоко ангажиран в областта на твърдите SiC устройства от много години и е в състояние да предостави на клиентите персонализирани Solid SiC газови душове. Без значение какви са вашите изисквания, ние очакваме вашето запитване.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Като професионалист Покритие от силициев карбид производител и доставчик в Китай, ние имаме собствена фабрика. Независимо дали се нуждаете от персонализирани услуги, за да отговорите на специфичните нужди на вашия регион или искате да закупите модерни и издръжливи Покритие от силициев карбид, направени в Китай, можете да ни оставите съобщение.

QR код

За нас

Продукти

Свържете се с нас

Телефон
+86-18069220752
факс
+86-579-87223657
Електронна поща
anny@veteksemi.com
Адрес
Wangda Road, улица Зиян, окръг Вуи, град Джинхуа, провинция Жеджианг, Китай

Уеб меню

Търсене на продукти

език

Изход от менюто

Покритие от силициев карбид

Реакторни части, които можем да направим:

Покритието от силициев карбид има няколко уникални предимства:

Параметър на покритие от силициев карбид на VeTek Semiconductor

CVD SIC ФИЛМ КРИСТАЛНА СТРУКТУРА

8 -инчов полуменя част за LPE реактор

SIC покритие с палачинки за LPE PE3061S 6 '' вафли

Поддръжка на SIC покритие за LPE PE2061S

Горна плоча с SiC покритие за LPE PE2061S

SiC покритие барел фиксатор за LPE PE2061S

Душ глава от твърд SiC газ

Изпратете запитване

QR код

За нас

Продукти

Свържете се с нас

Телефон

факс

Електронна поща

Адрес