Покритие от силициев карбид

VeTek Semiconductor е специализирана в производството на продукти с изключително чисто покритие от силициев карбид, тези покрития са предназначени за нанасяне върху пречистен графит, керамика и огнеупорни метални компоненти.

Нашите покрития с висока чистота са предназначени предимно за използване в полупроводниковата и електронната промишленост. Те служат като защитен слой за носители на пластини, фиксатори и нагревателни елементи, като ги предпазват от корозивни и реактивни среди, срещащи се в процеси като MOCVD и EPI. Тези процеси са неразделна част от обработката на пластини и производството на устройства. Освен това, нашите покрития са много подходящи за приложения във вакуумни пещи и нагряване на проби, където се срещат среди с висок вакуум, реактивни и кислородни среди.

Във VeTek Semiconductor ние предлагаме цялостно решение с нашите усъвършенствани възможности за машинен цех. Това ни позволява да произвеждаме базовите компоненти с помощта на графит, керамика или огнеупорни метали и да нанасяме вътрешни SiC или TaC керамични покрития. Ние също така предоставяме услуги за нанасяне на покрития на части, доставени от клиента, като гарантираме гъвкавост за посрещане на различни нужди.

Нашите продукти със силициево-карбидно покритие се използват широко в Si епитаксия, SiC епитаксия, MOCVD система, RTP/RTA процес, процес на ецване, процес на ецване ICP/PSS, процес на различни типове LED, включително сини и зелени LED, UV LED и дълбоки UV LED и т.н., който е адаптиран към оборудване от LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI и т.н.

Реакторни части, които можем да направим:

Покритието от силициев карбид има няколко уникални предимства:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Параметър на покритие от силициев карбид на VeTek Semiconductor

Основни физични свойства на CVD SiC покритие
Собственост	Типична стойност
Кристална структура	FCC β фаза поликристална, предимно (111) ориентирана
SiC покритие Плътност	3,21 g/cm³
SiC покритие Твърдост	2500 твърдост по Викерс（500g натоварване）
Размер на зърното	2~10 μm
Химическа чистота	99,99995%
Топлинен капацитет	640 J·kg^-1·К^-1
Температура на сублимация	2700 ℃
Якост на огъване	415 MPa RT 4-точков
Модулът на Йънг	430 Gpa 4pt огъване, 1300 ℃
Топлопроводимост	300W·m^-1·К^-1
Термично разширение (CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC ФИЛМ КРИСТАЛНА СТРУКТУРА

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Токоприемник Epi с покритие от силициев карбид Носител за пластини с покритие SiC Сателитно покритие с SiC покритие за MOCVD CVD SiC покритие Wafer Epi Susceptor Нагревателен елемент с CVD SiC покритие Aixtron Satellite носител на пластини SiC покритие Epi приемник SiC покритие полумесец графит части

View as

CVD SIC покритие на вафла EPI преустройство

Vetek Semiconductor CVD SIC покритие на вафли EPI SOSCEPTOR е незаменим компонент за растежа на SIC Epitaxy, предлагащ превъзходно термично управление, химическа устойчивост и стабилност на размерите. Избирайки CVD CVD CVD CVD CVD CVD Cofle Coans EPI Sustceptor, вие подобрявате работата на вашите MOCVD процеси, което води до продукти с по -високо качество и по -голяма ефективност в производствените операции за полупроводникови производители. Добре дошли вашите допълнителни запитвания.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

CVD SIC покритие графит пресечен

VETEK SEMICONDUCTOR CVD SIC покритие Графит SOSCEPTOR е един от важните компоненти в полупроводниковата индустрия като епитаксиален растеж и обработка на вафли. Използва се в MOCVD и друго оборудване за поддържане на обработката и обработката на вафли и други материали с висока точност. Vetek Semiconductor разполага с водещия китайски SIC покритие на графит и производствените възможности за производство и производство на графит, покрит с графит, и с нетърпение очаква вашата консултация.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

CVD SIC покритие за отопление на покритие

CVD SIC покритие на отоплителния елемент играе основна роля в отоплителните материали в PVD пещ (отлагане на изпаряване). Vetek Semiconductor е водещ производител на отоплителни елементи с CVD SIC, покрити с отоплителни елементи в Китай. Имаме модерни възможности за CVD покритие и можем да ви предоставим персонализирани продукти за CVD SIC Coating. Vetek Semiconductor очаква с нетърпение да стане ваш партньор в отоплителния елемент с покритие SIC.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Графитна въртяща се поддръжка

Въртящият се от високо чистота графитен седактор играе важна роля в епитаксиалния растеж на галий нитрид (MOCVD процес). Vetek Semiconductor е водещ производител и доставчик на въртящи се графити в Китай. Разработихме много графитни продукти с висока чистота, базирани на графитни материали с висока чистота, които напълно отговарят на изискванията на полупроводниковата индустрия. Vetek Semiconductor очаква с нетърпение да стане ваш партньор в въртящия се графитен чувствителен.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Графитен пръстен с висока чистота

Графитен пръстен с висока чистота е подходящ за процесите на растеж на GAN Epitaxial. Тяхната отлична стабилност и превъзходна производителност ги направиха широко използвани. Vetek Semiconductor произвежда и произвежда водещ световен графитен пръстен с висока чистота, за да помогне на индустрията на Gan Epitaxy да продължи да напредва. Veteksemi очаква с нетърпение да стане ваш партньор в Китай.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

CVD SIC SOSPECTOR

Като водещ производител и новатор на продуктите на CVD SIC Pancake Sudceptor в Китай. Vetek Semiconductor CVD SIC Pankake Sustceptor, като дисков компонент, предназначен за полупроводниково оборудване, е ключов елемент за поддържане на тънки полупроводникови вафли по време на високотемпературно епитаксиално отлагане. Vetek Semiconductor се ангажира да предоставя висококачествени продукти на SIC Pancake Sudceptor и да стане ваш дългосрочен партньор в Китай на конкурентни цени.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Като професионалист Покритие от силициев карбид производител и доставчик в Китай, ние имаме собствена фабрика. Независимо дали се нуждаете от персонализирани услуги, за да отговорите на специфичните нужди на вашия регион или искате да закупите модерни и издръжливи Покритие от силициев карбид, направени в Китай, можете да ни оставите съобщение.

QR код

За нас

Продукти

Свържете се с нас

Телефон
+86-18069220752
факс
+86-579-87223657
Електронна поща
anny@veteksemi.com
Адрес
Wangda Road, улица Зиян, окръг Вуи, град Джинхуа, провинция Жеджианг, Китай

Уеб меню

Търсене на продукти

език

Изход от менюто

Покритие от силициев карбид

Реакторни части, които можем да направим:

Покритието от силициев карбид има няколко уникални предимства:

Параметър на покритие от силициев карбид на VeTek Semiconductor

CVD SIC ФИЛМ КРИСТАЛНА СТРУКТУРА

CVD SIC покритие на вафла EPI преустройство

CVD SIC покритие графит пресечен

CVD SIC покритие за отопление на покритие

Графитна въртяща се поддръжка

Графитен пръстен с висока чистота

CVD SIC SOSPECTOR

Изпратете запитване

QR код

За нас

Продукти

Свържете се с нас

Телефон

факс

Електронна поща

Адрес