SIC покритие с дълбок UV светодиоден чувствител

SIC покритие Дълбоко UV светодиод е основният компонент на лагера вОборудване на MOCVD (метално органично химическо отлагане на пари). Сондаторът влияе пряко върху равномерността, контрола на дебелината и качеството на материала на дълбокия UV светодиоден епитаксиален растеж, особено при растежа на алуминиевия нитрид (ALN) епитаксиален слой с високо съдържание на алуминий, дизайн и производителност на сумптора са от решаващо значение.

SIC покритие с дълбок UV светодиоден чувствителен е специално оптимизиран за дълбока UV LED епитаксия и е точно проектиран въз основа на топлинни, механични и химически характеристики на околната среда, за да отговаря на строгите изисквания на процеса.

Vetek Semiconductor използва усъвършенствана технология за обработка, за да гарантира равномерно разпределение на топлината на чувствителността в рамките на работна температура, като избягва нееднообразният растеж на епитаксиалния слой, причинен от градиента на температурата. Прецизната обработка контролира грапавостта на повърхността, свежда до минимум замърсяването на частиците и подобрява ефективността на топлинната проводимост на контакта на повърхността на вафли.

Vetek Semiconductor използва SGL Graphite като материал, а повърхността се обработва сCVD SIC покритие, които могат да издържат на NH3, HCl и атмосфера с висока температура за дълго време. SIC SEC -COFET SEC -DECT SEC -SEC SOVET SOVECTER съвпада с коефициента на термично разширение на епитаксиалните вафли ALN/GAN, намалявайки изкривяването или напукване на вафли, причинени от термичен стрес по време на процеса.

Най -важното е, че SIC SEC -SIC SEC -DIC SEC SOVER SUDPECTER перфектно се адаптира към основното оборудване на MOCVD (включително Veeco K465i, Epik 700, Aixtron Crius и др.). Поддържа персонализирани услуги за размер на вафла (2 ~ 8 инча), дизайн на слота за вафли, температура на процеса и други изисквания.

Сценарии на кандидатстване:

● Дълбока подготовка на UV LED: Приложимо за епитаксиалния процес на устройства в лентата под 260 nm (UV-C дезинфекция, стерилизация и други полета).

● Епитаксия на полупроводника на нитрид: Използва се за епитаксиална подготовка на полупроводникови материали като галиев нитрид (GAN) и алуминиев нитрид (ALN).

● Епитаксиални експерименти на ниво изследване: Дълбока UV епитаксия и нови експерименти за развитие на материали в университети и изследователски институции.

Със подкрепата на силен технически екип, Vetek Semiconductor е в състояние да разработи SOVEPTORS с уникални спецификации и функции според нуждите на клиентите, да поддържа специфични производствени процеси и да предоставя дългосрочни услуги.

SEM Данни за CVD SIC Coating Film:

Основни физически свойства на CVD SIC покритие:

ПолупроводникSIC покритие Deep UV LED SOUDPECTOR Product Shops: