ТАК СЪДЪРЖАНИЕ НА КОЛЕТИЯ

Предоставящото се на Vetek Semiconductor Tac Coating Rotation е ключов компонент за обработка на вафли при обработка на полупроводници. ТоваТак каквоНашитеИма отличен толеранс с висока температура (точка на топене до 3880 ° C), химическа стабилност и устойчивост на корозия, които гарантират висока точност и високо качество при обработката на вафли.

ТАК СЪДЪРЖАНИЕ НА КОЛЕКЦИЯТА НА КОЛЕКЦИЯТА (SOTCEPTOR ROTATION CONFATION TANTALUM) е ключов компонент на оборудването, използван при обработката на полупроводници. Обикновено се инсталира вХимическо отлагане на пари (CVD)и оборудване за епитаксия на молекулярни лъчи (MBE) за поддържане и завъртане на вафли, за да се осигури равномерно отлагане на материал и ефективна реакция. Този тип продукт значително подобрява живота на обслужването и работата на оборудването във висока температура и корозивна среда чрез покриване на субстрата сТанталум въглерод (TAC) покритие.

Творското въртене на покритието обикновено се състои от TAC покритие и графит или силициев карбид като материал на субстрата. TAC е керамичен материал с ултра висока температура с изключително висока точка на топене (точка на топене до 3880 ° C), твърдост (твърдостта на викерите е около 2000 HK) и отлична химическа устойчивост на корозия. Полупроводниковият Vetek може ефективно и равномерно да покрие покритието с въглерод Tantalum върху материала на субстрата чрез CVD технология.

Обикновено предавателът на въртене е направен от висока топлинна проводимост и материали с висока якост (графит илисилициев карбид), които могат да осигурят добра механична поддръжка и термична стабилност в високотемпературна среда. Перфектната комбинация от двете определя перфектната производителност на чувствителността на въртене на покритието на TAC при поддържащи и въртящи се вафли.

Творското въртене на въртене на покритието поддържа и завърта вафлата в процеса на CVD. Твърдостта на Vickers от TAC е около 2000 HK, което му позволява да се противопостави на многократното триене на материала и да играе добра поддържаща роля, като по този начин се гарантира, че реакционният газ е равномерно разпределен върху повърхността на вафлите и материалът се отлага равномерно. В същото време високотемпературната толерантност и устойчивост на корозия на TAC покритие позволяват да се използва дълго време при висока температура и корозивна атмосфера, което ефективно избягва замърсяването на вафлата и носача.

Освен това, топлинната проводимост на TAC е 21 W/M · K, която има добър топлопренос. Следователно, чувствителността на въртене на покритието може да загрее равномерно на вафлата при високотемпературни условия и да гарантира равномерността на процеса на отлагане на газ чрез ротационно движение, като по този начин поддържа консистенцията и високото качество нарастеж на вафлите.

Tantalum карбид (TAC) покритие върху микроскопично напречно сечение：

Физични свойства на TAC покритие：

ТАК СЪДЪРЖАНИЕ НА СВОБОДЕНИЯ СУПЕКТЪР: