Графитна лодка за PECVD

Приложение: Графитната лодка Veteksemicon за PECVD е основен компонент в усиления с плазма процес на химическо отлагане на пари. Той е проектиран специално за отлагане на висококачествен силициев нитрид, силициев оксид и други тънки филми върху силициеви пластини, съставни полупроводници и субстрати на дисплеи. Неговата производителност директно определя равномерността на филма, стабилността на процеса и производствените разходи.

Услуги, които могат да бъдат предоставени: анализ на сценария на клиентското приложение, подходящи материали, решаване на технически проблеми.

Фирмен профил：Veteksemicon разполага с 2 лаборатории, екип от експерти с 20 години материален опит, с R&D и възможности за производство, тестване и проверка.

Обща информация за продукта

Продуктови бизнес условия

Основни области на приложение

Моят съперник Графитна лодка за основните предимства на PECVD

1. Субстрати с висока чистота, контролиращи замърсяването от източника

Ние настояваме да използваме изостатично пресован графит с висока чистота със стабилна чистота над 99,995% като основен материал, за да гарантираме, че няма да утаява метални примеси дори при непрекъсната работна среда от 1600°C. Това строго изискване за материал може директно да избегне влошаване на производителността на пластините, причинено от замърсяване на носителя, осигурявайки най-фундаменталната гаранция за отлагане на висококачествени филми от силициев нитрид или силициев оксид.

2. Прецизно термично поле и структурен дизайн, за да се осигури еднаквост на процеса

Чрез обширна симулация на флуиди и данни от измерване на процеса, ние оптимизирахме ъгъла на слота на лодката, дълбочината на направляващия канал и пътя на газовия поток. Това прецизно структурно обмисляне позволява равномерно разпределение на реактивните газове между пластините. Действителните измервания показват, че при пълно натоварване еднородното отклонение на дебелината на филма между пластините в една и съща партида може да бъде стабилно контролирано в рамките на ±1,5%, което значително подобрява добива на продукта.

3. Персонализирани решения за покритие за справяне с корозията на специфичния процес

За да отговорим на различните газови среди на различни клиенти, ние предлагаме две зрели опции за покритие: пиролитичен въглерод и силициев карбид. Ако отлагате основно силициев нитрид и използвате водородно почистване, плътното пиролитично въглеродно покритие може да осигури отлична устойчивост на водородна плазмена ерозия. Ако вашият процес включва флуорсъдържащи почистващи газове, тогава покритието от силициев карбид с висока твърдост е по-добър избор. Той може да удължи експлоатационния живот на графитната лодка в силно корозивни среди до повече от три пъти повече от този на обикновените продукти без покритие.

4. Отлична устойчивост на термичен шок, адаптивна към чести температурни цикли

Благодарение на нашата уникална графитна формула и дизайн на вътрешни подсилващи ребра, нашите графитни лодки могат да издържат на многократните бързи охлаждащи и нагряващи шокове на процеса PECVD. При строги лабораторни тестове, след 500 бързи термични цикъла от стайна температура до 800°C, коефициентът на запазване на якостта на огъване на лодката все още надвишава 90%, ефективно избягвайки напукване, причинено от термичен стрес и осигурявайки непрекъснатост и безопасност на производството.

5. Одобрение за проверка на екологичната верига

Графитната лодка на Veteksemicon за проверка на екологичната верига на PECVD обхваща суровините до производството, преминала е сертификация по международен стандарт и има редица патентовани технологии, за да гарантира нейната надеждност и устойчивост в областта на полупроводниците и новите енергийни полета.

За подробни технически спецификации, бели документи или примерни условия за тестване, моля, свържете се с нашия екип за техническа поддръжка, за да проучите как Veteksemicon може да подобри ефективността на вашия процес.