PZT пиезоелектрични пластини (PZT върху Si/SOI)

1. Техническа архитектура

Нашите вафли разполагат със сложна многослойна стекова структура, предназначена да осигури оптимална адхезия, проводимост и пиезоелектричен отговор по време на сложна MEMS обработка:

 ●Горен електрод (ключов слой): Pt (платина).

● Пиезо слой (основен слой): PZT.

● Междинни слоеве: Включва буферен слой, долен електрод и адхезивен слой за оптимизиране на ориентацията на зърното и структурната стабилност.

● Субстрат: Съвместим със Si или SOI вафли.

2. Осигуряване на качеството и анализ на микроструктурата

Ние гарантираме висока надеждност чрез строги технически характеристики:

 ●SEM анализ: Изображенията от сканираща електронна микроскопия (SEM) разкриват плътна повърхностна морфология без пукнатини с равномерно разпределение на размера на зърната, идеални за високонадеждни MEMS приложения.

 ●XRD характеризиране: Моделите на рентгеновата дифракция (XRD) потвърждават образуването на чиста перовскитна фаза със силна (100) предпочитана ориентация, осигуряваща максимални коефициенти на пиезоелектрична ефективност.

3. Технически спецификации (Характеристики)

4. Основни приложения

 ● Пиезоелектрични микромашинни ултразвукови преобразуватели (pMUT): Високочестотни миниатюризирани масиви за сензори за пръстови отпечатъци, разпознаване на жестове и автомобилен ултразвуков радар.

 ● Комуникация: Ключ за производство на FBAR или SAW филтри в 5G/6G за постигане на по-широка честотна лента и по-ниски загуби при вмъкване.

 ● Акустични MEMS: Осигурява мощна преходна реакция за MEMS високоговорители и подобрява съотношението сигнал/шум (SNR) за MEMS микрофони.

 ● Прецизен контрол на течностите: Високоскоростна вибрация чрез режим d31 за прецизен контрол на обема на капчиците в мастиленоструйни глави.

 ● Медицина и красота (микроизпомпване): Задвижва медицински пулверизатори или козметични ултразвукови помпи с висока надеждност и компактен размер.

5. Услуги за персонализиране

В допълнение към стандартното отлагане върху Si вафли, ние също така предоставяме услуги за отлагане по поръчка:

 ●Персонализиране на филма и дебелината: Отлагане на специфични видове филми и персонализирани дебелини според изискванията на дизайна.

 ●OEM леярна: Приемане на пластини, доставени от клиенти за висококачествен пиезоелектричен тънкослоен растеж.

 ●Поддръжка на SOI субстрат: Специализирано отлагане върху SOI пластини със следните спецификации: