Фокусен пръстен от силициев карбид

Обща информация за продукта

Продуктови бизнес условия

Приложение: В процесите на сухо ецване на полупроводници пръстенът за фокусиране е ключов компонент, който осигурява еднаквост на процеса. Той обгръща плътно пластината и чрез прецизно контролиране на разпределението на плазмата по краищата на пластината, директно определя равномерността и последователността на процеса на ецване, което го прави незаменима част от гарантирането на добив на чипове.

Услуги, които могат да бъдат предоставени: анализ на сценария на клиентското приложение, подходящи материали, решаване на технически проблеми.

Фирмен профил: Veteksemicon разполага с 2 лаборатории, екип от експерти с 20 години материален опит, с R&D и възможности за производство, тестване и проверка.

Технически параметри

Предимства на ядрото на пръстена за фокусиране на Моят съперник

1. Изключителна наука за материалите, родена за сурови среди

Нашият избран материал от силициев карбид с висока чистота и висока плътност може лесно да издържи на интензивното плазмено бомбардиране и корозията на флуорсъдържащ химически газ по време на процеса на ецване на SiC. Неговата отлична устойчивост на корозия директно се превръща в по-дълъг експлоатационен живот и по-ниска честота на смяна на компонентите, като не само намалява времето за престой на оборудването, но и значително намалява риска от замърсяване с частици, причинено от износване на компонентите, като ви осигурява дългосрочна и стабилна цялостна ефективност на разходите.

2. Прецизният инженерен дизайн осигурява последователен процес

Всеки фокусен пръстен на Veteksemicon се подлага на ултра-прецизна CNC обработка, за да се гарантира, че ключови размери като плоскост, вътрешен диаметър и височина на стъпалото постигат точност на микронно ниво, осигурявайки перфектно съответствие с производителя на оригинално оборудване (OEM). Нашият инженерен екип допълнително оптимизира профила с помощта на плазмена симулация. Този дизайн ефективно насочва електрическото поле, намалявайки необичайното ецване по ръбовете на пластината и по този начин контролира еднородността на гравирането на цялата пластина до екстремно ниво.

3. Надеждното представяне подобрява ефективността на производството

В взискателни среди за масово производство се реализира пълната стойност на нашите продукти. Като осигурява концентрирано и стабилно разпределение на плазмата, фокусиращият пръстен на Veteksemicon директно допринася за подобрената равномерност на скоростта на ецване и оптимизираната повторяемост на процеса от партида към партида. Това означава, че вашата производствена линия може постоянно да доставя продукти с висок добив, като същевременно се възползва от по-дълги цикли на поддръжка, като ефективно намалява разходите за консумативи на пластина и ви дава значително конкурентно предимство.

4. Одобрение за проверка на екологичната верига

Проверката на екологичната верига на Veteksemicon focus ring обхваща суровините до производството, преминала е сертификация по международен стандарт и има редица патентовани технологии, за да гарантира неговата надеждност и устойчивост в областта на полупроводниците и новите енергийни полета.

За подробни технически спецификации, бели документи или примерни условия за тестване, моля, свържете се с нашия екип за техническа поддръжка, за да проучите как Veteksemicon може да подобри ефективността на вашия процес.

Магазин за продукти Моят съперник